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1. (WO1992009718) STRUCTURES D'ANODES POUR APPAREIL DE PULVERISATION A MAGNETRONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1992/009718    N° de la demande internationale :    PCT/US1991/008307
Date de publication : 11.06.1992 Date de dépôt international : 14.11.1991
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    14.05.1992    
CIB :
C23C 14/56 (2006.01), H01J 37/34 (2006.01)
Déposants : VIRATEC THIN FILMS, INC. [US/US]; 2150 Airport Drive, Faribault, MN 55021 (US)
Inventeurs : DICKEY, Eric, R.; (US).
BJORNARD, Erik, J.; (US).
HOFMANN, James, J.; (US)
Mandataire : EGAN, William, J., III; Heller, Ehrman, White & McAuliffe, 333 Bush Street, San Francisco, CA 94104-2878 (US)
Données relatives à la priorité :
616,673 21.11.1990 US
Titre (EN) ANODE STRUCTURES FOR MAGNETRON SPUTTERING APPARATUS
(FR) STRUCTURES D'ANODES POUR APPAREIL DE PULVERISATION A MAGNETRONS
Abrégé : front page image
(EN)An in-line sputtering system with rotating cylindrical magnetrons (30) is fitted with a system of anodes (62) having a large surface area. The surface area is equal to or greater than the surface area of the sputtering chambers' internal walls (22, 24, 25 and 26). The anodes (62) may be grounded, allowed to float electrically, or connected to a separate bias power supply. The anode surfaces are protected from contamination by sputtered material or are designed so the electron collecting surface may be replaced during the sputtering process. The anodes (62) may be equipped with a magnet array for improving electron collecting efficiency.
(FR)L'invention se rapporte à un système de pulvérisation en ligne avec magnétrons cylindriques rotatifs (30), qui est équipé d'un système d'anodes (62) présentant une grande superficie, égale ou supérieure à la superficie des parois internes (22, 24, 25 et 26) des chambres de pulvérisation. Les anodes (62) peuvent être soit mises à la terre soit isolées électriquement de la terre soit encore connectées à une source de courant de polarisation séparée. Les surfaces des anodes sont soit protégées contre la contamination par le matériau pulvérisé soit conçues pour que la surface recueillant les électrons puissent être remplacée pendant le processus de pulvérisation. Les anodes (62) peuvent être pourvues d'un réseau d'aimants destiné à améliorer leur efficacité à receuillir les électrons.
États désignés : CA, JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)