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1. WO1992008919 - VALVE

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ι -

Ventil

Die Erfindung betrifft ein Ventil, insbesondere für hohe Rein- heits- und/oder Sicherheitsanforderungen, das die Merkmale des Oberbegriffs des Anspruches 1 aufweist.

Ein bekanntes Ventil dieser Art weist den Ventilsitz, in dem der abgewinkelte Einlaßkanal mündet, am Boden einer Sacklochbohrung auf, die in dem einstückig ausgebildeten Ventilgehäuse vorgesehen ist und von der aus in radialer Richtung der Auslaßkanal abgeht. An die offene Seite des Ventilgehäuses ist unter Zwischenlage einer Ringdichtung ein Verbindungsgehäuse angepreßt, das die einen Pneumatikzylinder aufweisende Antriebs* Vorrichtung koaxial mit dem Ventilgehäuse verbindet. In diesem Verbindungsgehäuse ist konzentrisch zum Ventilsitz 'ein Gleitlager angeordnet, in dem längsverschiebbar ein stabförmiges Führungs- und Betätigungsglied gelagert ist, welches an seinem einen Ende den Ventilkörper trägt un.d an seinem anderen Ende mit der Kolbenstange der Aπtriebsvorrichtung verbunden ist.
Als Primärdichtuπg dient ein metallischer Faltenbalg, welcher das Führungs- und Betätigungsglied im Bereich zwischen dem
Ventilkörper und dem Gleitlager umgibt und einerseits dicht mit dem Ventilkörper, andererseits dicht mit dem Ventilgehäuse im Ringdichtungsbereich verbunden ist.

Eine derartige Konstruktion ist mit einer Reihe von Nachteilen behaftet. Die Sicherheit bezüglich eines Austretens von Gas oder Flüssigkeit nach außen ist nur so lange gewährleistet, als der Faltenbalg fehlerfrei ist. Der Faltenbalg ist jedoch einer dynamischen Beanspruchung ausgesetzt, was dessen Lebensdauer erheblich beeinträchtigt. Außerdem ist er in direkter Berührung mit dem Medium, das aggressiv sein kann. Zwar ist bei diesem vorbekannten Ventil im Bereich der Kolbenstange eine Sekundärdichtung angeordnet, in der die Kolbenstange gleitend geführt ist. Die Sekundärdichtung kann aber keine hohen Sicherheitsanforderungen erfüllen. Das Ventil muß deshalb im Bereich des Verbindungsgehäuses ständig darauf hin überwacht werden, ob der Faltenbalg ein Leck hat.
Ferner machen sowohl der Faltenbalg als auch der diesen umgebende Ringraum, der einen Totraum bildet, eine Reinigung des Innenraumes schwierig, weil sowohl der Faltenbalg als auch die Begrenzungswände des ihn umgebenden Innenraumes nicht direkt in der Strömung des Spülmittels liegen und deshalb an deren Oberflächen nicht die erforderliche hohe Strömungsgeschwindigkeit erreicht werden kann, die bei hohen Reinheits-aπforderungen erreicht werden muß.
Nachteilig ist weiterhin, daß die Schließkraft, die von der Antriebsvorrichtung zum Schließen des Ventils aufgebracht werden muß, größer ist als die im geschlossenen Zustand aufzubringende Zuhaltekraft, weil der Faltenbalg den effektiven Querschnitt, der bei geöffnetem Ventil druckbeaufschlagt ist, vergrößert. Dies führt zu einem relativ großen Platzbedarf der Antriebsvorrichtung, was beispielsweise beim Einsatz in einem Reinstraum störend ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Ventil zu schaffen, das nicht nur einen geringen Raumbedarf hat, sondern auch höchste Sicherheits- und Reinheitsanforderungen zu erfüllen vermag. Diese Aufgabe löst ein Ventil mit den Merkmalen des Anspruches 1.

Die Sicherheit gegen das Austreten des flüssigen oder gasförmigen Mediums ist extrem hoch, weil die für diese Sicherheit verantwortliche Dichtung nur statisch beansprucht ist, da sie zwischen den gegeneinander weisenden Endflächen der Teile des Ventilgehäuses liegt, das nur aus zwei Teilen zu bestehen baucht. Man kann sogar die Teile des Ventilgehäuses miteinander verschweißen. Aber auch ohne diese Verschweißung ist eine Sekundärdichtung nicht -erforderlich.

Das erfindungsgemäße Ventil kann ferner sehr gut gereinigt werden, weil beim Durchspülen nicht nur die Begrenzungswände des Innenraumes, sondern auch der Ventilkörper und das Führungsund Betätigungsglied direkt im Strom des Spülmittels liegen, und zwar mit ihrer gesamten Oberfläche. Da die Querschnittsform des Innenraumes an die Außenform des Führungs- und Betätigungsgliedes weitgehend angepaßt werden kann, können auch Toträume vollständig vermieden werden.

Sofern das Führungs- und Betätigungsglied nicht von der den Inπenraum begrenzenden Wand geführt wird, sondern, was vorzugsweise der Fall ist, eine reibungsfreie Führung verwendet wird, ist das erfindungsgemäße Ventil ferner äußerst kontaminationsarm.
Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß der Antrieb beinahe vollständig druckentlastet ist, weil im geöffneten Zustand die aus dem Ventilkörper und dem Führungs- und Betätigungsglied bestehende Baueinheit vollständig vom Medium umgeben sind.
Dies hat zur Folge, daß zu Schwingungen führende Störkräfte und die erforderlichen Betätigungs- oder Stell- kräfte klein sind, was sowohl eine kompakte Bauweise ermöglicht als auch dazu beiträgt, eine hohe Dynamik zu erreichen.

Von besonderem Vorteil ist ferner die Kraftübertragung auf das Führungs- und Betätigungsglied mittels eines Magnetsystems. Eine derartige Kraftübertragung ermöglicht nicht nur in einfacher Weise eine vorzugsweise stufenlose Positionierung des Führungs- und Betätigungsgliedes in beiden Verschieberichtungen und auf jede beliebige Zwischenstellung, wodurch ein Energiespeicher, beispielsweise in Form einer Feder, im Innenraum entfallen kann. Mit Hilfe des Magnetsystems können auch Schwingungen der aus dem Ventilkörper und dem Führungs- und Betätigungsglied bestehenden Baueinheit gedämpft werden, und zwar zum einen infolge der bei Schwingungen im Magnetsystem erzeugten Wirbelströme, zum anderen durch eine Übertragung von den Schwingungen entgegengerichteten Betätigungskräften. Die Möglichkeit, auf einen im Innenraum angeordneten Energiespeicher in Form einer Feder zu verzichten, ist vor allem dann von großer Bedeutung, wenn sehr hohe Reinheitsanforderungen und eine nahezu vollständige Kontaminationsfreiheit verlangt wird, da eine Feder zumindest an den Auflagestellen Abrieb erzeugt und außerdem in der Regel aus einem anderen Material bestehen muß als die übrigen Teile, was die chemische Resistenz beeinträchtigt. Das Magnetsystem wirkt ferner als Separator für ferritische Schmutzpartikel.
Schließlich ist das erfindungsgemäße Ventil auch als Regelventil mit beliebig einstellbaren Zwischenstellungen bestens geeignet. Es erfüllt deshalb auch die häufig gestellte Forderung einer Automatisierbarkeit .

Bei einer bevorzugten Ausführungsform weist das Magnetsystem mehrere in axialer Richtung nebeneinander angeordnete Ringmagnete in beiden Teilen auf, wobei mit der Vergrößerung der Anzahl der Ringmagnete die Steifigkeit der Kopplung zwischen beiden Teilen zunimmt. Bei der Verwendung von Permanentmagneten entfällt die Notwendigkeit, elektrische Energie zuführen zu müssen, was für explosionsgeschützte Ausführungsformen wichtig ist und Eigenerwärmung vermeidet. Statt der Magnetringe kann ein Magnetrohr mit mehreren Magπetpolpaaren vorgesehen sein.

Besonders vorteilhaft ist eine Anordnung der beiden Teile des Magnetsystems gemäß Anspruch 4, wodurch nicht nur eine kompakte Bauweise erzielt wird, sondern auch in einfacher Weise das Ventilgehäuse vom Antriebsgehäuse getrennt werden kann, beispielsweise, um das eigentliche Ventil austauschen und die Antriebsvorrichtung wieder verwenden zu können.

Die Verschiebung des im Antriebsgehäuse vorzugsweise reibungsarm gelagerten Teils des Magnetsystems ist in verschiedener Weise möglich. Beispielsweise kann ein Kolben vorgesehen sein, der einfach oder doppelt wirkend sein kann. Ein solcher Kolben vermeidet eine Eigenerwärmung. Ist er einfach wirkend, dann kann mittels eines eine Rückstellkraft erzeugenden Energiespeichers, der ebenfalls im Antriebsgehäuse untergebracht ist, in einfacher Weise sichergestellt werden, daß bei einem Energieausfall das Ventil in seine Sicherheitsstellung gebracht wird. Für die Verschiebung des äußeren Teils des Magnetsystems kommt aber auch ein elektromagnetischer Antrieb in Frage, bei dem es sich auch um ein Linearmotorsystem mit einem Wanderfeld handeln kann.

Ein derartiges Linearmotorsystem eignet sich auch für die Verschiebung des Führungs- und Betätiguπgsgliedes . Vorteilhaft, da sehr kostengünstig, ist ferner eine Ausbildung der Antriebsvorrichtung gemäß Anspruch 6, bei der für eine Positionsänderung des Führungs- und Betätigungsgliedes nur die Erregerströme der Spulen verändert zu werden brauchen. Beispielsweise kann der Erregerstrom des einen Elektromagneten erhöht oder eingeschaltet und derjenige des anderen Elektromagneten verkleinert oder ausgeschalten. In vielen Fällen genügt aber eine gleiche Erregung beider Spulen, also ein Betrieb des Elektromagneten wie bei einem Vorhandensein einer einzigen Spule, wobei je nach Betätigungsrichtung der Erregerstrom in der einen oder anderen Richtung durch die Spulen fließt.

Um eine Berührung zwischen dem Führungs- und Betätigungsglied sowie der Innenwand des Innenraumes zu vermeiden, kann man Membrane gemäß Anspruch 7 vorsehen, welche das Führungs- und Betätigungsglied tragen. Man kann aber auch eine magnetische Führung mittels radialer Magnetfelder vorsehen, wobei eine solche magnetische Führung zusätzlich vorhanden sein kann, um von den Membranen aufzunehmende Querkräfte zu verkleinern. Eine derartige magnetische Führung läßt sich beispielsweise mit Hilfe von Ringmagneten realisieren, die wie die Ringmagnete des der Übertragung der Antriebskräfte dienenden Magnetsystems angeordnet sind.

Wird, beispielsweise für Regelzwecke, ein Sensor benötigt, der die Position des Führungs- und Betätigungsgliedes zu erfassen vermag, dann kann letzteres beispielsweise mit einem metallischen Ring versehen sein, der im Wirkungsbereich eines Hall-Sensors liegt, der im Ventilgehäuse oder im Antriebsgehäuse angeordnet ist. Statt eines solchen Positionssensors oder zusätzlich zu einem solchen kann im Bedarfsfalle auch ein Drucksensor vorgesehen sein, der den Druck des Mediums erfaßt. Ferner kann das erfindungsgemäße Ventil auch mit einem Strömungssensor ausgerüstet werden. Hierzu kann beispielsweise im Führungs- und Betätigungsglied ein Bypass vorgesehen sein, der vom Medium durchströmt wird und in dem der Strömungssensor angeordnet ist. Die erforderlichen elektrischen Verbindungen mit diesem Strömungssensor können über die Membrane hergestellt werden, von denen auch, gegeneinander elektrisch isoliert, mehrere unmittelbar nebeneinander angeordnet sein können.

Im folgenden ist die Erfindung anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen im einzelnen erläutert.
Es zeigen
Fig. 1 einen Längsschnitt des ersten Ausführungsbeispieles, Fig. 2 eine Stirnansicht von dessen Antriebsgehäuse,
Fig. 3 einen unvollständig dargestellten Längsschnitt
des zweiten Ausführungsbeispieles,
Fig. 4 einen unvollständig dargestellten Längsschnitt
eines dritten Ausführungsbeispieles.

Ein Ventil zur Steuerung oder Regelung des Durchflusses eines flüssigen oder gasförmigen Mediums, bei dem es sich auch um ein Medium handeln kann, wie es bei der Halbleiterfertigung sowie in der Bio- und Medizintechnik benötigt wird, und das höchste Anforderungen an die Sicherheit und die Reinheit erfüllt, weist ein zweiteiliges Ventilgehäuse auf, dessen erster Teil 1 mit einer zentralen Durchgangsbohrung versehen ist, welche einen Einlaßkanal 2 und einen Ventilsitz 3 bildet, von dem aus die Durchgangsbohrung sich gegen den zweiten Teil 4 hin trichterförmig erweitert. Der zweite Teil 4 des Ventilgehäuses schließt sich gleichachsig an diejenige Stirnfläche des ersten Teiles 1 an, in der die Mündungsöffnung der trichterförmigen Erweiterung liegt, und zwar mittels eines Ringflansches 5, der am einen Ende eines dünnwandigen, rohrförmigen Abschnittes 6 des zweiten Teiles 4 vorgesehen ist. Der Innendurchmesser dieses rohrförmigen Abschnittes 6 ist an den Durchmesser der Mündungsöffnung des trichterförmig erweiterten Endabschnittes der Durchgangsbohrung des ersten Teiles 1 angepaßt. An dem dem ersten Teil 1 abgekehrten Ende des rohrförmigen Abschnittes 6 ist der Innendurchmesser des zweiten Teiles 4 trichterartig bis auf den für einen Auslaßkanal 7 erforderlichen Querschnitt reduziert .

Zwischen dem Ringflansch 5 und der ihm zugekehrten Stirnfläche des ersten Teiles 1 des Ventilgehsuses liegt eine Ringdichtung 8, die im Ausführungsbeispiel ebenso wie das Ventilgeheuse aus Metall besteht. Der Ringflansch 5 und ein entsprechender Ringflansch 9 des ersten Teiles 1 sind mittels einer Überwurfmutter 10 zentriert und zusammengeεpennt , die mit ihrem Kopf am Ringflansch 9 anliegt und mit ihrem Außengewinde in eine
Gewindebohrung eines Spsnnkörpers 11 eingreift, der nicht nur den Ringflansch 5 hintergreift, sondern in seiner zentralen
Durchgangsbohrung einen sich an den Ringflanεch 5 anschließenden Endabεchnitt des rohrförmigen Abschnittes 6 aufnimmt.

Im Inneren des rohrförmigen, aus einem austenitischen Material bestehenden Abschnittes 6 ist ein zylindrisches Führungs- und Betätigungsglied 12 angeordnet, das aus strömungstechnischen Gründen sn beiden Enden halbkugelähnlich abgerundet ist. In eine zentrale Bohrung dieses aus auεtenitische Metall bestehenden Führungs- und Betätigungsgliedes ist an dem dem Ventilsitz 3 zugekehrten Ende ein Verbindungszapfen eines mit dem
Ventilsitz 3 zusammenwirkenden, kegelförmigen Ventilkörpers 13 eingesetzt. Dieser Verbindungszapfen durchdringt eine zentrale Öffnung einer mit Durchbrechungen versehenen Membrane 14, deren äußerer Rand die Ringdichtung 8 bildet und deren innerer Rand zwischen dem Ventilkörper 13 und dem Führungs- und Betätigungsglied 12 eingespannt ist. Eine zweite, ebenfalls mit Durchbrüchen versehene Membrane 15 ist zentral mit dem anderen Ende des
Führungs- und Betätigungsgliεdes 12 verbunden und mit ihrem äußeren Rand am zweiten Teil 4 des Ventilgehäuses abgestützt, und zwar am Übergang von dem rohrförmigen Abschnitt 6 zum Auslaßkanal 7. Die beiden Membrane 14 und 15 halten das Führungsund Betstigungsglied 12 mit hoher Präzision in einer zum rohrförmigen Abschnitt 6 konzentrischen Lage, so daß zwiεchen des-sen Innenwandung und der Außenmantelfläche des Führungs- und Ee-tätigungsgliedes ein geringer Luftspalt 16 vorgesehen werden kann. Die axiale Verschiebung des Führungs- und Betätigungsgliedies 12, welche die Membrane 14 und 15 zulassen, ist völlig ausreichend, um den Ventilkörper 13 zwischen seiner Schließstellung und seiner Öffnungsstellung zu bewegen.

Das Führungs- und Betätigungsglied 12 ist mit einer zu seiner Längsachse konzentrischen, nach außen offenen, breitenRingnut

17 versehen, in der im Ausführungsbeispiel vier ringförmige
Permanentmagnete 18 axial nebeneinander und konzentrisch zur Längsachse angeordnet sind. Die beiden mittleren Permanentmagnete

18 haben ihre Pole an den Stirnfläche, und zwar so, daß ungleichnamige Pole aneinander anliegen. Die beiden die Permanentmagnete 18 zwischen sich aufnehmenden Permanentmagnete 19 könnten in gleicher Weise wie die Permanentmagnete 18 magnetisiert sein.
Im Ausführungsbeispiel liegen ihre Pole jedoch im Bereich der zylindrischen Mantelflächen, weshalb zwischen ihnen und den
Permanentmagneten 18 je ein Flußleitblech 20 liegt. Die Ringnut 17 ist nach außen flüssigkeits- und gasdicht mittels einer metallischen Hülse 21 verschlossen, so daß das Medium nicht in Berührung mit den Permanentmagneten 18 und 19 kommen kenn.
Die Hülse 21 überdeckt außerdem gas- und flüssigkeitsdicht einen Metallring 22, der ebenfalls in das Führungs- und Betätigungsglied 12 konzentrisch eingelassen ist und auf den ein als Hall-Sensor ausgebildeter Positionssensor 23 ausgerichtet ist, der in eine radiale Bohrung des Spannkörpers 11 eingesetzt ist, um die Position des Führungs- und Betätigungsgliedes 12 zu detektieren.

Sowohl die Außenmantelfläche des Führungs- und Betätigungεglie-des 12 als such die den Innenraum des Ventilgehäuses begrenzenden Wände sind poliert, was wegen der einfachen geometrischen Formen ohne Schwierigkeiten möglich ist. Daher bereitet auch die Reinigung des Ventils mit Hilfe eines Spülmittels keine
Schwierigkeiten, zumal keine Toträume vorhanden sind und alle Oberflächen in der Strömung des Spülmittels liegen.

Das Führungs- und Betätigungsglied 12 besteht aus zwei zentral miteinander verschraubten und anschließend gasdicht verschweißten Teilen, damit die Permanentmagnete 18 und 19 in die Ringnut 17 eingebracht werden können. Aus magnetischen Gründen handelt es sich bei dem für die beiden Teile verwendeten Metall ebenso wie beim zweiten Teil 4 des Ventilgehäuses und der Hülse 21 um einen austenitischen Werkstoff. Aus Gründen einer möglichst geringen Masse des Führungs- und Betätigungsgliedes 12 ist die Ringnut 17 möglichst groß ausgeführt und der verbleibende Raum mit einer Kunststoffvergußmasse gefüllt.
Über das Ventilgehäuse ist spielfrei und konzentrisch zu dessen Längsachse ein als Ganzes mit 24 bezeichnetes Antriebsgehäuse geschoben, das eine quadratische Außenkontur hat und sich außen stufenlos an den Spannkörper 11 anschließt, der ebenfalls eine quadratische Außenkontur hat. Das Antriebsgehäuse 24 besteht aus einer auf dem zweiten Teil 4 des Ventilgehäuses 1 im Bereich des Auslaßkanales 7 zentriert angeordneten Endplatte 25 und einem zwischen dieser und dem Spannkörper 11 liegenden Buchse 26, die beide mittels diagonal liegender Schrauben 27 zusammengespannt sind. Zwei ebenfalls diagonal angeordnete Schrauben 27' durchdringen das Antriebsgehäuse 24 in dessen beiden anderen Eckbereichen bis zu Gewindebohrungen im Spannkörper 11 und spannen das Ventilgehäuse sowie das Antriebsgehäuse 24 lösbar zusammen. In der Buchse 26 ist eine Kugelmanschette 28 angeordnet, mittels deren äußerst reibungsar ein hohler Kolben 29 relativ zum Ventilgehäuse längsverschiebbar geführt ist. Mehrere über den Umfang verteilt angeordnete Schraubendruckfedern 30 stützen sich einerseits an der Endplatte 25 und andererseits an dem dieser zugekehrten Ende des Kolbens 29 ab. Die der Endplatte 25 abgewandte Stirnfläche des Kolbens 29, an der ein im Querschnitt U-artiges Dichtungselement 31 anliegt, ist mit Druckluft beaufschlagbar. Daher ist der Spannkörper 11 mit einer Luftanschlußbohrung 32 versehen, deren Mündungsöffnung auf das Dichtungselement 31 ausgerichtet ist. O-Ringe 33 zwischen den aneinander anliegenden Flächen des Spannkörpers 11 einerseits und der Buchse 26 sowie dem rohrförmigen Abschnitt 6 andererseits verhindern ein Entweichen der Luft aus dem Druckraum 34.

Im Inneren des Kolbens 29 sind konzentrisch zu dessen Längsachse und damit auch konzentrisch zu den Permanentmagneten 18 und 19 Ringmagnete angeordnet, bei denen es sich im Ausführungsbeispiel ebenfalls ym Permanentmagnete handelt. Wie bei dem Führungs- und Betätigungsglied 12 sind die beiden mittleren Permanentmagnete 35 so magnetisiert , daß ihre Pole in den Stirnflächen liegen. Die Lage der Pole ist aber, wie Fig. 1 zeigt, im Vergleich zur Lage der Pole der Permanentmagnete 18 vertauscht. Die Permanentmagnete 35 liegen zwischen zwei Permanentmagneten 36, deren Pole in den Mantelflächen liegen, wobei die Anordnung so getroffen ist, daß den Polen der Permanentmagnete 19 gleichnamige Pole gegenüberstehen. Flußleitplatten 37 trennen die Permanentmagnete 36 von den Permanentmagneten 35.

Wie Fig. 1 zeigt, sind die Permanentmagnete 35 so im Kolben 29 angeordnet, daß sie dann, wenn der Druckraum 34 drucklos ist, der Kolben 29 also bei einer Blickrichtung gemäß Fig.
1 seine linke Endlage einnimmt und außerdem der Ventilkörper 13 am Ventilsitz 3 anliegt, gegenüber den Permanentmagneten 18 etwas gegen den Spannkörper 11 versetzt sind. Dadurch wird auf das Führungs- und Betätigungsglied 12 rein magnetisch eine axiale Kraftkomponente ausgeübt, welche den Ventilkörper 11 mit der erforderlichen Schließkraft in Anlage am Ventilsitz 3 hält. Wird der Kolben 29 mit Druckluft beaufschlagt, wodurch er sich entgegen der Kraft der Schraubendruckfedern 30 bei einer Blickrichtung gemäß Fig. 1 nach rechts bewegt, dann hat das den rohrförmigen Abschnitt 6, den Luftspalt 16 und die
Hülse 21 durchgreifende Magnetfeld zur Folge, daß das Führungsund Betätigungsglied 12 mitgeschleppt wird, weshalb durch diese Kolbenverschiebung der Ventilkörper 13 vom Ventilsitz 3 abgehoben wird. Die Kopplung zwischen den Permanentmagneten 35 und 18 ist dabei um so steifer, je mehr von diesen Ringmagneten
nebeneinander angeordnet sind.

Die Permanentmagnete 36 üben zusammen mit den Permanentmagneten 19 auf das Führungs- und Betätigungsglied 12 eine zentrierende Kraft aus, so daß die Membrane 14 und 15 weitgehend
von Querkräften freigehalten werden, welche durch Unsym etrien auftreten können.

Das in Fig. 3 dargestellte Ausführungεbeispiel unterscheidet sich von dem enigen. gemäß den Fig. 1 und 2 in konstruktiver
Hinsicht nur durch eine andere Ausbildung der Führung des
Führungs- und Betätigungsgliedes 112 im Ventilgehäuse. Die
Beschreibung beschränkt sich deshalb auf diese Abwandlung.
Wegen der übrigen Einzelheiten wird auf die Ausführungen zu dem ersten Auεführungεbeiεpiel' Bezug genommen. Zur Erleichterung des Verständnisses sind ferner für sich entsprechende Teile um 100 größere Bezugszehlen verwendet.

Da das Führungs- und Betätigungsglied 112 nicht mit Hilfe von Membranen im Inneren des Ventilgehäuses gelagert und geführt ist, weist das in Fig. 3 dargestellte Ende des Führungs- und Betätigungsgliedes 112 einen stεbförmigen Fortsatz 140 auf, der koaxial zum Führungε- und Betätigungsglied 112 angeordnet ist und ein Mehrksntprofil , im Ausführungsbeiεpiel ein Dreikantprofil, hat. Dieser stsbförmige Fortsatz 140 ist spielfrei in einer konzentrisch zur Längsachse des Führungs- und Betätigungsgliedes 112 liegenden Führungsbuchse 141 längsverschiebbar geführt. Zur Aufnahme dieser Buchse 141 ist der zweite
Teil 104 des Ventilgehäuses in dem sich an den rohrförmigen
Abschnitt 106 anschließenden, im Durchmesser verkleinerten
Abschnitt mit einer entsprechenden Erweiterung des ihn durchdringenden Kanales 107 versehen. Wie Fig. 3 zeigt, ist die Länge der Führungsbuchse 141 so gewählt, daß das Führungs- und Betätigungsglied 112 den gewünschten Hub ausführen kann. In derjenigen Endstellung, die dem vollständig geöffneten Zustand des Ventils entspricht, findet der stabförmige Fortsatz 140 im
Ausführungsbeispiel Anschlag an einer Schulter d e s zweiten Teil s 104 .

Die Führungsbuchse 141, statt der auch eine andere Führung, insbesondere eine Kugelmanschette, vorgesehen sein könnte, besteht aus ferritischem Material. Ebenfalls aus ferritischem Material besteht der als Führungszapfen dienende, stsbförmige Fortsatz 140 und der mit ihm einstückig ausgebildete Teil des Führungs- und Betätigungsgliedes 112. Dessen anderer Teil und die Hülse 121 bestehen hingegen aus einem austenitischen Stahl.

Der Vorteil dieses Ausführungsbeispieles gegenüber demjenigen gemäß den Fig. 1 und 2 besteht darin, daß ein beliebig großer Hub des Führungs- und Betätigungsgliedes 112 verwirklicht werden kann, wie er beispielsweise bei Regelventilen mit einem Feinregelbereich erwünscht oder erforderlich sein kann. Sofern der nicht ganz vermeidbare Abrieb zwischen dem stabför igen Fortsatz 140 und der Führungsbuchse 141 störend sein sollte, wird der vom zweiten Teil 104 des Ventilgehäuses gebildete
Kanal 107 als Einlaßkanal benutzt. Die abgeriebenen Partikel kommen dann mit dem Medium in den Wirkungsbereich der Permanentmagnete des Führungs- und Betätigungsgliedes 112 sowie des
Kolbens 129. Da diese Partikel aus ferritischem Material bestehen, werden sie von diesen Magneten festgehalten. Selbstverständlich können der Kanal 107 und der Kanal 102 auch so angeordnet sein, daß beide dem Ventilgehäuseteil 1 bzw. 101 angehören und das Führungs- und Betätigungsglied lotrecht zur Hauptströmungsrichtung bewegt wird.

Das in Fig. 4 unvollständig dargestellte dritte Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von den davor beschriebenen Ausführungsbeispielen nur durch eine andere Ausbildung der Magnetkupplung und der Antriebsvorrichtung. Daher sind im folgenden nur diese Teile im einzelnen erläutert. Die übrigen Teile können wie bei dem ersten oder dem zweiten Ausführungsbeispiel ausgebildet sein, weshalb insoweit auf die Erläuterungen zu diesen beiden Ausführuπgsbeispielen Bezug genommen wird.

Das Führungs- und Betätigungsglied 212 enthält zwar wie die
Führungs- und Betätigungsglieder 12 und 112 ein Permanentmagnetsystem zur Bildung des einen Teils der magnetischen Kupplung. Dieses Permanentmagnetsystem weist jedoch einen konzentrisch zu der in der Verschieberichtung verlaufenden Längsachse liegenden, hohlzylindrischen Permanentmagneten 218 auf, an dessen beide Stirnflächen sich je ein scheibenförmiger Polschuh 218' aus ferritischem Material anschließt. Diese beiden gleich ausgebildeten, scheibenförmigen Polschuhe 218' haben eine in Längsrichtung des Führungs- und Betätigungsgliedes 212 verbreiterte äußere Randzone, deren Außenmantelfläche an der dünnen metallischen Hülse 221 anliegt, die aus austenitischem Material besteht und den das Magnetsystem enthaltenden Innenraum des
Führungs- und Betätigungsgliedes 212 nach außen flüssigkeits-und gasdicht verschließt. Die nicht vom Magnetsystem ausgefüllten Teile des Innenraumes des Führungs- und Betätigungsgliedes
212 sind mit einem Kunststoff, beispielsweise einem Gießharz 240, ausgefüllt.

Am zweiten Teil 204 des Ventilgehäuses, das in dem das Führungsund Betätigungsglied 212 konzentrisch unter Bildung eines sehr geringen Luftspaltes 216 umgebenden Abschnitt die Form eines dünnwandigen Rohres hat und aus einem austenitischen Material besteht, liegt die relativ zum Ventilgehäuse ortsfeste Antriebs- Vorrichtung für das Führungs- und Betätigungsglied 212 an.
Die Antriebsvorrichtung weist zwei in der Verschieberichtung des Führungs- und Betätigungsgliedes 212 im Abstand voneinander angeordnete Ringspulen 235' eines Elektromagneten 235 auf.
Den Zwischenraum zwischen diesen beiden Ringspulen 235' füllt ein Flußleitring 235" aus, der einerseits an der Außenmantelfläche des zweiten Teiles 204 des Ventilgehäuses und andererseits an der Innenmantelfläche eines aus ferritischem Material bestehenden Jochrohres 241 vollflächig anliegt. Entsprechende
Flußleitringe 235" liegen an den einander abgekehrten Stirnflächen der Ringspulen 235', dem zweiten Teil 204 des Ventilgehäuses und dem Jochrohr 241 an.

Sind, wie im Ausführungsbeispiel, die beiden Polschuhe 218' in einer Mittelstellung des Führungs- und Betätigungsgliedes 212 auf die eine bzw. andere Ringspule 235' ausgerichtet, dann kann das Führungs- und Betätigungsglied 212 mit Hilfe des mittels der beiden Ringspulen 235* erzeugbaren magnetischen Flusses, der sich über die Polschuhe 218' schließt, im Zusammenwirken mit dem vom Permanentmagneten 218 erzeugten magnetischen Fluß wahlweise in der einen oder anderen axialen Richtung verschoben werden, je nachdem, ob der Erregerstrom durch die Ringspulen in der einen oder anderen Richtung fließt.

Alle in der vorstehenden Beschreibung erwähnten sowie auch die nur allein aus der Zeichnung entnehmbaren Merkmale sind als weitere Ausgestaltungen Bestandteile der Erfindung, auch wenn sie nicht besonders hervorgehoben und insbesondere nicht in den Ansprüchen erwähnt sind.