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1. (WO1992008068) ACTIONNEUR ROTATIF/LINEAIRE POUR CHAMBRE FERMEE, ET CHAMBRE DE REACTION L'UTILISANT

Pub. No.:    WO/1992/008068    International Application No.:    PCT/US1991/007863
Publication Date: 14 mai 1992 International Filing Date: 23 oct. 1991
IPC: C23C 16/458
F27B 17/00
Applicants: RAPRO TECHNOLOGY, INC.
Inventors: McDIARMID, James
Title: ACTIONNEUR ROTATIF/LINEAIRE POUR CHAMBRE FERMEE, ET CHAMBRE DE REACTION L'UTILISANT
Abstract:
Une chambre de réaction à pression réduite (100) permet la rotation et la translation d'une pièce (108), à l'aide d'un actionneur étanche de rotation et de translation (114). La chambre de réaction (103) possède des parois rigides (111), et est particulièrement adaptée à des systèmes de pression réduite. L'actionneur comporte un arbre (116) couplé à travers la paroi par un mécanisme de passage rotatif à dépression (115). Une douille (215) est montée sur l'arbre (210) et accouplée à ce dernier au moyen de filets (216), et de joints d'arbre (217, 218), qui assurent un accouplement à friction. Ainsi, la douille atteint la même vitesse de rotation que l'arbre. Un embrayage (219) vient en prise avec la douille lorsqu'un mouvement de translation linéaire est désiré. La différence de vitesse de rotation entre l'arbre et la douille est convertie par translation en mouvement linéaire par les filets. Les joints d'arbre assurent également l'étanchéité de l'actionneur, et réduisent la contamination.