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1. (WO1991018400) PLATEAU DE MASQUE ET PROCEDE DE CHARGEMENT DE MASQUE DANS UN SYSTEME LITHOGRAPHIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1991/018400    N° de la demande internationale :    PCT/US1991/003565
Date de publication : 28.11.1991 Date de dépôt international : 20.05.1991
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    20.12.1991    
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : HAMPSHIRE INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 10 Carlson Road, Rochester, NY 14610 (US)
Inventeurs : BAKER, David, G.; (US)
Mandataire : BARRON, Harry, W.; 8221 Glades Road, Suite 202, Boca Raton, FL 33434 (US)
Données relatives à la priorité :
526,565 21.05.1990 US
Titre (EN) MASK TRAY FOR AND METHOD OF LOADING MASK IN LITHOGRAPHY SYSTEM
(FR) PLATEAU DE MASQUE ET PROCEDE DE CHARGEMENT DE MASQUE DANS UN SYSTEME LITHOGRAPHIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A pin chuck (68) holds a wafer (40) during translation in an X-ray lithography machine (10). The chuck (68) is designed to be the same size as the wafer (40) and includes a plurality of extensions (106) having tops along a common plane. The space between the extensions is evacuated to hold and level the wafer (40). In order to load or remove a wafer (40) from the chuck (68), three extendable posts (114, 116 and 118) are provided which can be exended to permit a robot arm (92) to position a prealigned wafer (40) thereon for being lowered to the chuck (68) or to remove a wafer (40) therefrom lifted upward from the chuck (68). The three posts (114, 116 and 118) are triangularly positioned within a space sufficiently large to hold the wafer (40) and at the same time sufficiently close enough together to permit the fingers (96 and 98) of the robot arm (92) to fit therearound.
(FR)Un mandrin à picot (68) maintient une pastille (40) pendant la translation dans une machine à lithographier à rayons X. Le mandrin (68) est conçu pour avoir la même taille que la pastille (40) et comporte une pluralité de prolongements (106) dont les extrémités se trouvent sur le même plan. L'espace entre les prolongements est aspiré de manière à maintenir la pastille (40) et à la mettre à niveau. Pour charger ou enlever une pastille (40) du mandrin (68) il existe trois montants étirables (114, 116 et 118) qui peuvent être étirés pour permettre à un bras robotique (92) de mettre en place une pastille préalignée (40) posée sur lui, destinée à être abaissée vers le mandrin (68) ou pour enlever une pastille (40) du mandrin en la soulevant dudit mandrin (68). Les trois montants (114, 116 et 118) sont placés en triangle dans un espace suffisamment grand pour maintenir la pastille (40) et en même temps suffisamment près les uns des autres pour permettre aus pinces (96 et 98) du bras (92) de les enserrer.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)