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1. WO1991018307 - PROCEDE ET APPAREIL DE CAPTAGE DE LA LUMIERE

Numéro de publication WO/1991/018307
Date de publication 28.11.1991
N° de la demande internationale PCT/US1991/003493
Date du dépôt international 17.05.1991
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 18.12.1991
CIB
G02B 19/00 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
19Condenseurs
G03F 7/20 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20Exposition; Appareillages à cet effet
H01L 21/68 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
68pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
CPC
G02B 19/0014
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
19Condensers, ; e.g. light collectors or similar non-imaging optics
0004characterised by the optical means employed
0009having refractive surfaces only
0014at least one surface having optical power
G02B 19/0047
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
19Condensers, ; e.g. light collectors or similar non-imaging optics
0033characterised by the use
0047for use with a light source
G03F 7/7055
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
70Exposure apparatus for microlithography
70483Information management, control, testing, and wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
7055Exposure light control, in all parts of the microlithographic apparatus, e.g. pulse length control, light interruption
H01L 21/681
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
68for positioning, orientation or alignment
681using optical controlling means
Déposants
  • XINIX, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • RODGERS, Edward, G.
  • LITVAK, Herbert, E.
Mandataires
  • BENZ, William, H.
Données relatives à la priorité
525,46718.05.1990US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) LIGHT COLLECTION METHOD AND APPARATUS
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE CAPTAGE DE LA LUMIERE
Abrégé
(EN)
The device of this invention employs a short focal length anamorphic lens (10) to collect light from a source (6) with asymmetric angular dispersion of the flux. Focal lenghts are chosen to provide an approximate line fuzzy focus with a f/number equal to or smaller than that of the associated detector (14). Fiber optic cable systems (30) are used to deliver the condensed light and the diameter of the optical fibers is chosen to give a numerical aperture greater than that of the detector (14). The number of optical fibers in the cable should be large enough to over-fill the limiting area of the etendue of the detector. In a preferred embodiment the fiber optic cable is bifurcated (32 and 34) and fibers from the separate channels are interleaved.
(FR)
Le dispositif décrit utilise une lentille anamorphe (10) à longueur focale courte pour capter la lumière provenant d'une source (6) ayant une dispersion angulaire asymétrique du flux. Les longueurs focales de la lentille sont choisies de façon à former une ligne focale approximative floue ayant une clarté géométrique égale ou inférieure à celle du détecteur associé. Des systèmes de câbles à fibres optiques sont utilisés pour acheminer la lumière condensée et le diamètre des fibres optiques est choisi de façon à former une ouverture numérique supérieure à celle du détecteur. Le nombre de fibres optiques dans le câble doit être suffisamment grand pour occuper et dépasser la zone de délimitation de l'étendue du détecteur. Dans un mode de réalisation préféré, le câble à fibres optiques est fourchu et les fibres provenant des canaux séparés sont entrelacées.
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