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1. (WO1991018126) SYSTEME DE CIBLE POUR ENSEMBLE DE PULVERISATION CATHODIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1991/018126    N° de la demande internationale :    PCT/US1991/002077
Date de publication : 28.11.1991 Date de dépôt international : 27.03.1991
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.10.1991    
CIB :
C23C 14/34 (2006.01), H01J 37/34 (2006.01)
Déposants : TOSOH SMD, INC. [US/US]; 3515 Grove City Road, Grove City, OH 43123-3099 (US)
Inventeurs : QAMAR, Sohail, Syed; (US).
CONARD, Harry, Wayne; (US).
HAMILTON, Lowell, E.; (US)
Mandataire : PEACOCK, Bruce, E.; Biebel & French, 2500 Kettering Tower, Dayton, OH 45423 (US)
Données relatives à la priorité :
525,361 17.05.1990 US
Titre (EN) SPUTTER TARGET DESIGN
(FR) SYSTEME DE CIBLE POUR ENSEMBLE DE PULVERISATION CATHODIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A cathode sputtering assembly includes a sputter target (10) welded to a corresponding backing member (40), where the target (10) and backing member (40) are adapted for insertion into a sputtering system. The target (10) has a reduced diameter portion profiled for receipt within a counterbored upper section of the backing member (40). The target (10) has a beveled surface (14) above the reduced diameter section, and the baking member (40) has an upper tapered edge (44), where the interface between the sputtering target and the backing member cooperate to define a V-groove. Both the target (10) and the backing member (40) are comprised of aluminum and the target (10) backing member (40) are TIG welded together with aluminum filler rod.
(FR)Un ensemble de pulvérisation cathodique comprend une cible (10) soudée à un élément correspondant de renforcement situé à l'arrière (40), la cible (10) et l'élément de renforcement (40) étant conçus pour être introduits dans un sytème de pulvérisation cathodique. La cible (10) comporte une partie à diamètre réduit profilée pour venir se loger dans une partie supérieure à épaulement de l'élément de renforcement (40). La cible (10) possède une surface à pan coupé (14) située au-dessus de la partie à diamètre réduit, et l'élément de renforcement (40) possède un bord supérieur diminué (44) où la jonction entre la cible et l'élément de renforcement définissent ensemble une rainure en forme de V. La cible (10) et l'élément de renforcement (40) sont tous deux composés d'aluminium, et la cible (10) et l'élément de renforcement (40) sont soudés ensemble par procédé TIG avec une baguette d'apport en aluminium.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)