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1. (WO1991017483) DISPOSITIF D'EXPOSITION A LA LUMIERE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1991/017483    N° de la demande internationale :    PCT/DE1991/000375
Date de publication : 14.11.1991 Date de dépôt international : 02.05.1991
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    18.10.1991    
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Leonrodstraße 54, D-80636 München (DE) (Tous Sauf US).
VOGT, Holger [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KÜCK, Heinz [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HESS, Gunther [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
GEHNER, Andreas [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : VOGT, Holger; (DE).
KÜCK, Heinz; (DE).
HESS, Gunther; (DE).
GEHNER, Andreas; (DE)
Mandataire : SCHOPPE, Fritz; Seitnerstraße 42, D-8023 Pullach (DE)
Données relatives à la priorité :
P 40 14 131.4 02.05.1990 DE
Titre (DE) BELICHTUNGSVORRICHTUNG
(EN) ILLUMINATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'EXPOSITION A LA LUMIERE
Abrégé : front page image
(DE)Eine Belichtungsvorrichtung (1) dient zum Herstellen von Vorlagen (6) oder zum Direktbelichten von elektronischen Elementen und weist eine Lichtquelle (2) und einen Mustergenerator (3) auf. Um die erforderliche Schreibzeit oder Belichtungszeit bei einer vereinfachten Struktur der Belichtungsvorrichtung (1) zu verkürzen, umfaßt der Mustergenerator (3) ein optisches Schlierensystem (15, 17) und einen aktiven, Matrix-adressierbaren Flächenlichtmodulator (13), der eine viskoelastische Steuerschicht mit reflektierender Oberfläche (19) hat. Zwischen dem Schlierenobjektiv (15) und dem Projektionsobjektiv (16) des Schlierensystems (14) ist eine Spiegelvorrichtung (17) angeordnet, die vorzugsweise eine Doppelfunktion hat und zur Umlenkung des Lichtes von der Lichtquelle (2) auf den Flächenlichtmodulator (13) und als Filtervorrichtung zum Herausfiltern von ungebeugt reflektiertem Licht dient. Das Schlierenobjektiv ist mit einem bezogen auf seine Brennweite geringen Abstand zu dem Flächenlichtmodulator (13) angeordnet. Ein Positioniertisch (7) für die Aufnahme der Vorlage (6) oder des elektronischen Elementes ist derart angeordnet, daß Oberflächenbereiche (19a, 19b) des Flächenlichtmodulators (13) auf der Vorlage oder dem elektronischen Element scharf abbildbar sind.
(EN)The illumination device (1) proposed is designed to produce patterns (6), or for the direct illumination of electronic elements, and includes a light source (2) and an original generator (3). In order to shorten the exposure time necessary with a simplified illumination-device structure, the original generator (3) includes an optical schlieren system (15, 17) and an active, matrix-addressable surface light modulator (13) which has a visco-elastic control film with a reflective surface (19). Disposed between the schlieren lens (15) and the projection lens (16) in the schlieren system (14) is a mirror (17) which preferably has two functions, not only reflecting the light from the light source (2) to the light modulator (13) but also filtering out undiffracted reflected light. The schlieren lens is located at a distance from the light modulator (13) which is short relative to the focal length of the lens. A positioning table (7) designed to hold the pattern (6) or the electronic element is disposed in such a way that sharp images of areas (19a, 19b) on the surface of the light modulator (13) can be produced on the pattern or the electronic element.
(FR)Un dispositif d'exposition à la lumière (1) est utilisé pour la production de modèles (6) ou pour l'exposition directe d'éléments électroniques, et présente une source lumineuse (2) et un générateur d'original (3). Afin de réduire le temps d'écriture ou le temps de pose nécessaire pour une structure simplifiée du dispositif d'exposition (1), le générateur original (3) comprend un dispositif optique strioscopique (15, 17) et un modulateur de lumière superficiel (13) actif à adressage matriciel, présentant une couche directrice viscoélastique à surface réfléchissante (19). Entre l'objectif (15) strioscopique et l'objectif de projection (16) du dispositif strioscopique (14), il est prévu un dispositif à miroir (17), de préférence à double fonction, à savoir, servant à la déviation de la lumière de la source lumineuse (2) sur le modulateur de lumière superficiel (13) et utilisé comme filtre pour la séparation de la lumière réfléchie non diffractée. L'objectif strioscopique est disposé à une faible distance, par rapport à sa distance focale, du modulateur (13). Une tablette de positionnement (7) destinée à recevoir le modèle (6) ou l'élément électronique, est disposée de façon que des zones superficielles (19a, 19b) du modulateur (13) soient nettement reproductibles sur le modèle ou sur l'élément électronique.
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)