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1. WO1991015871 - CANON A ELECTRON A EMISSION DE CHAMP ET PROCEDE AYANT UN POMPAGE COMPLEMENTAIRE DE VIDE PASSIF ET ACTIF

Numéro de publication WO/1991/015871
Date de publication 17.10.1991
N° de la demande internationale PCT/US1991/002461
Date du dépôt international 10.04.1991
CIB
H01J 37/073 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
04Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
06Sources d'électrons; Canons à électrons
073Canons à électrons utilisant des sources d'électrons à émission par effet de champ, à photo-émission ou à émission secondaire
H01J 37/18 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
18Fermetures étanches
CPC
H01J 37/073
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
06Electron sources; Electron guns
073Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
H01J 37/18
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
18Vacuum locks ; ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
Déposants
  • ORCHID ONE CORPORATION [US]/[US]
Inventeurs
  • CREWE, Albert, V.
Mandataires
  • CHRYSTAL, John, J.
Données relatives à la priorité
508,29210.04.1990US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) FIELD EMISSION ELECTRON GUN AND METHOD HAVING COMPLEMENTARY PASSIVE AND ACTIVE VACUUM PUMPING
(FR) CANON A ELECTRON A EMISSION DE CHAMP ET PROCEDE AYANT UN POMPAGE COMPLEMENTAIRE DE VIDE PASSIF ET ACTIF
Abrégé
(EN)
An electron beam system comprises a vacuum enclosure (10), a source of electrons (3) within the enclosure, and a passive pump (8) located within or in communication with the enclosure for pumping gases from the enclosure. A supplemental active pump (19) is coupled to the vacuum enclosure and functions simultaneously with the passive pump for pumping from the enclosure gases not removed, or not removed efficiently, therefrom by the passive pump.
(FR)
Un système de faisceau d'électrons comprend une enceinte de vide (10), une source d'électrons (3) située à l'intérieur de l'enceinte, et une pompe passive (8) située à l'intérieur de l'enceinte ou en communication avec celle-ci destinée à pomper les gaz se trouvant dans l'enceinte. Une pompe active supplémentaire (19) est couplée à l'enceinte de vide et elle fonctionne simultanément avec la pompe passive afin de pomper dans l'enceinte les gaz non retirés, ou non retirés efficacement, de celle-ci par ladite pompe passive.
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