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1. (WO1991003833) DISPOSITIF DE MANIEMENT ELECTROSTATIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1991/003833    N° de la demande internationale :    PCT/US1990/005002
Date de publication : 21.03.1991 Date de dépôt international : 04.09.1990
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    28.03.1991    
CIB :
H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : MCNC [US/US]; 3021 Cornwallis Road, P.O. Box 12889, Research Triangle Park, NC 27709 (US)
Inventeurs : BOBBIO, Stephen, Michael; (US)
Mandataire : McCOY, Michael, D.; Bell, Seltzer, Park & Gibson, P.O. Drawer 34009, Charlotte, NC 28234 (US)
Données relatives à la priorité :
403,755 06.09.1989 US
Titre (EN) ELECTROSTATIC HANDLING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MANIEMENT ELECTROSTATIQUE
Abrégé : front page image
(EN)An electrostatic handling device (10) for a wafer (40) having a pair of faces (41, 42), includes a dielectric region (20) having a top face (21) which is adapted to accept one of the pair of wafer faces (41, 42) thereagainst. Conductors (30) are positioned in the dielectric region (20). The conductors (30) are arranged in the dielectric region (20) to generate electrostatic force between the conductors (30) and the wafer (40) to hold the wafer (40) against the top face (21) of the dielectric region (20). The conductors (30) are further arranged in the dielectric region (20) to generate substantially no net electrostatic force at the opposite one of the pair of wafer faces (41, 42) to thereby reduce electrostatic force interference thereat.
(FR)Un dispositif de maniement électrostatique (10) pour une pastille (40) qui possède une paire de faces (41, 42), comprend une zone diélectrique (20) possédant une face supérieure (21) adaptée à recevoir contre elle une des deux faces (41, 42) de la pastille. Des conducteurs (30) sont placés dans la zone diélectrique (20). Les conducteurs (30) sont disposés dans la zone diélectrique (20) pour générer une force électrostatique entre les conducteurs (30) et la pastille (40) afin de maintenir la pastille (40) contre la face supérieure (21) de la zone diélectrique (20). Les conducteurs (30) sont également disposés dans la zone diélectrique (20) pour générer sensiblement aucune force électrostatique nette au niveau de la face de pastille opposée afin d'y réduire l'interférence de force électrostatique.
États désignés : CA, JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, IT, LU, NL, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)