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1. (WO1990006502) SYSTEME DE MESURE DE PARTICULES FLOTTANT DANS L'AIR DANS UN VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/1990/006502 N° de la demande internationale : PCT/US1989/005442
Date de publication : 14.06.1990 Date de dépôt international : 01.12.1989
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 13.06.1990
CIB :
G01N 1/22 (2006.01) ,G01N 1/24 (2006.01) ,G01N 15/06 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
1
Echantillonnage; Préparation des éprouvettes pour la recherche
02
Dispositifs pour prélever des échantillons
22
à l'état gazeux
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
1
Echantillonnage; Préparation des éprouvettes pour la recherche
02
Dispositifs pour prélever des échantillons
22
à l'état gazeux
24
Dispositifs d'aspiration
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
15
Recherche de caractéristiques de particules; Recherche de la perméabilité, du volume des pores ou de l'aire superficielle effective de matériaux poreux
06
Recherche de la concentration des suspensions de particules
Déposants :
REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MINNESOTA [US/US]; 100 Church Street Southeast Minneapolis, MN 55455, US
Inventeurs :
LIU, Benjamin, Y., H.; US
SZYMANSKI, Wladyslaw, W.; AT
Mandataire :
WESTMAN, Nickolas, E. ; Kinney & Lange Suite 1500 625 Fourth Avenue South Minneapolis, MN 55415, US
Données relatives à la priorité :
280,48306.12.1988US
Titre (EN) SYSTEM FOR AIRBORNE PARTICLE MEASUREMENT IN A VACUUM
(FR) SYSTEME DE MESURE DE PARTICULES FLOTTANT DANS L'AIR DANS UN VIDE
Abrégé :
(EN) A particle measurement apparatus (10) for obtaining accurate information relating to airborne particles in a gas under vacuum from a process chamber (12) including a sampling chamber (14) which can be subjected to a very strong vacuum (20) and used for obtaining a sample of the gas in the process chamber (12). The interior of the sampling chamber (14) is first flushed with very clean purge gas (30), and subsequently opened to the process vacuum chamber (12) which is to be sampled so that a sample of the atmosphere of gas from the process vacuum chamber (12) is held in the sampling chamber (14). The sampling chamber (14) is sealed from the process chamber (12) and the sample is brought to atmospheric pressure by adding a particle-free purified gas. The sample is then flushed from the sampling chamber (14) and passed through a particle counter (40). Calculations can then be made to determine the original particle concentration in the process vacuum chamber (12) based on the measured particle concentration from the sample of the sampling chamber (14). By having a series of valves (V1-V6) operated in a selected sequence, a very accurate measurement of particles down to as small as .01 microns can be measured, and the system can be used to measure particles in chambers (12) under from about one atmosphere to approximately .001 atmosphere.
(FR) Appareil (10) de mesure de particules permettant d'obtenir des informations précises relatives à des particules flottant dans l'air dans un gaz sous vide provenant d'une chambre de traitement (12), comprenant une chambre d'échantillonnage (14) pouvant être soumise à un vide (20) très poussé et utilisée pour obtenir un échantillon du gaz se trouvant dans ladite chambre de traitement (12). L'intérieur de ladite chambre d'échantillonnage (14) est d'abord nettoyé à l'aide d'un gaz de purge (30) très propre, puis ouvert sur la chambre à vide de traitement (12) à échantillonner, de sorte qu'un échantillon de l'atmosphère de gaz provenant de ladite chambre à vide de traitement (12) est maintenu dans ladite chambre d'échantillonnage (14). Ladite chambre d'échantillonnage (14) est isolée hermétiquement de ladite chambre de traitement (12) et l'échantillon est amené à la pression atmosphérique par addition d'un gaz purifié exempt de particules. Ledit échantillon est ensuite évacué de ladite chambre d'échantillonnage (14) et passe dans un compteur (40) de particules. On peut ensuite faire des calculs afin de déterminer la concentration particulaire originale dans ladite chambre à vide de traitement (12), basés sur la concentration particulaire mesurée de l'échantillon de la chambre d'échantillonnage (14). Le fait d'actionner une série de vannes (V1 à V6) dans une séquence sélectionnée permet d'obtenir une mesure très précise des particules de l'ordre de 0,01 micron, et on peut utiliser ledit système afin de mesurer des particules se trouvant dans des chambres (12) au-dessous d'environ une atmosphère jusqu'à approximativement 0,001 atmosphère.
États désignés : JP, KR
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, ES, FR, GB, IT, LU, NL, SE)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)