PATENTSCOPE sera indisponible quelques heures pour des raisons de maintenance le mardi 19.11.2019 à 16:00 CET
Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO1990006489) PROCEDE ET DISPOSITIF DE MESURE OPTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/1990/006489 N° de la demande internationale : PCT/FR1989/000630
Date de publication : 14.06.1990 Date de dépôt international : 05.12.1989
CIB :
G01B 11/02 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
02
pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
Déposants :
MICRO-CONTROLE [FR/FR]; Z.I. de S.-Guénault Rue Jean-Mermoz F-91005 Evry Cédex, FR (AllExceptUS)
HIGNETTE, Olivier [FR/FR]; FR (UsOnly)
LACOMBAT, Michel [FR/FR]; FR (UsOnly)
Inventeurs :
HIGNETTE, Olivier; FR
LACOMBAT, Michel; FR
Mandataire :
FORT, Jacques; Cabinet Plasseraud 84, rue d'Amsterdam F-75009 Paris, FR
Données relatives à la priorité :
88/1590205.12.1988FR
Titre (EN) OPTICAL MEASUREMENT DEVICE AND METHOD
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE MESURE OPTIQUE
Abrégé :
(EN) Method for optically measuring submicron dimensions of an object or covering between two objects, and device implementing such method, wherein a light beam (23) is emitted by means of an arc lamp (22) into a system (21) with an optical monofibre (8) having a diameter larger than 500 $g(m)m and a length longer than 3 m, the beam (23) is focussed to the object to be measured through the lens (32) of a microscope, the reflected beam passing through the microscope lens is separated from the incident beam in order to direct it towards the sensors of the matrix cameras (41, 42) of the charge coupling type and the spatial signals thus obtained are processed in order to reconstitute the contours of the object or to measure the covering between the two objets.
(FR) Procédé de mesure optique des dimensions submicroniques d'un objet ou du recouvrement entre deux objets, et dispositif mettant en ÷uvre ce procédé, dans lequel on émet avec une lampe à arc (22) un faisceau de lumière (23) dans un système (21) à monofibre optique (8) de diamètre supérieur à 500 $g(m)m et de longueur supérieure à 3 m, on focalise le faisceau (23) sur l'objet à mesurer par l'intermédiaire d'un objectif (32) de microscope, on sépare le pinceau réfléchi ayant traversé l'objectif du microscope du pinceau incident pour le diriger sur les capteurs de caméras matricielles (41, 42) à couplage de charge et on traite les signaux spatiaux ainsi obtenus pour reconstituer les frontières de l'objet ou mesurer le recouvrement entre deux objets.
États désignés : US
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, ES, FR, GB, IT, LU, NL, SE)
Langue de publication : Français (FR)
Langue de dépôt : Français (FR)
Également publié sous:
EP0401351US5191393DE000068908879FR2640040