WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO1989012818) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR L'EXAMEN DE STRUCTURES SUR DES SURFACES MEMBRANAIRES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1989/012818    N° de la demande internationale :    PCT/DE1989/000398
Date de publication : 28.12.1989 Date de dépôt international : 16.06.1989
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    09.01.1990    
CIB :
G01N 23/227 (2006.01), H01J 37/252 (2006.01)
Déposants : FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND [DE/DE]; TEN FORSCHUNG E.V.;, Leonrodstraße 54;, D-8000 München 19 (DE) (Tous Sauf US).
BRÜNGER, Wilhelm [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : BRÜNGER, Wilhelm; (DE)
Mandataire : PATENTSTELLE FÜR DIE DEUTSCHE FORSCHUNG DER FRAUNH; OFER-GESELLSCHAFT E.V.;, Leonrodstraße 68, D-8000 München 19 (DE)
Données relatives à la priorité :
P 38 20 549.1 16.06.1988 DE
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR THE EXAMINATION OF STRUCTURES ON MEMBRANE SURFACES
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR L'EXAMEN DE STRUCTURES SUR DES SURFACES MEMBRANAIRES
Abrégé : front page image
(EN)Structures on membrane surfaces are usually examined by Auger electron spectroscopy, which gives high resolution. But, with this method, the structure being examined is subjected to high stresses. The invention proposes an Auger spectroscopy apparatus modified so that it is suitable for high-resolution X-ray photo-electron spectroscopy. Not only can high resolution be achieved with this apparatus, but also the material under investigation is subjected to only low stresses. The primary electron beam from an Auger probe impinges on the rear surface of the membrane, thereby inducing X-ray radiation. These X-rays cause photo-electrons to be emitted from the membrane surface. The photo-electrons are used in the analysis of the uppermost layers of atoms in the surface. The sample holder is designed as a Faraday cage so that it can be used to capture the electrons emerging from the rear surface of the membrane. The method is suitable for the examination of very fine structures (micron and sub-micron range).
(FR)Des structures sur des surfaces membranaires sont habituellement examinées par la spectroscopie électronique selon Auger qui se distingue par une résolution élevée. Dans cette méthode, la structure à examiner est soumise à de fortes sollicitations. Selon l'invention, un appareillage Auger du commerce est perfectionné de manière à se prêter à une spectroscopie par photoélectrons aux rayons X à haute résolution. On obtient ainsi pour une résolution élevée une faible sollicitation matière. Le faisceau d'électrons primaires d'une sonde Auger atteint la face envers de la membrane et induit un rayonnement X. Ce dernier libère de la surface membranaire des photoélectrons qui servent à l'analyse des couches d'atomes supérieures de la surface. Les électrons extraits de la face envers de la membrane sont retenus à l'aide d'un porte-échantillons se présentant sous la forme d'une cage de Faraday. Le procédé convient à l'analyse de structures très fines (de l'ordre du micron et moins).
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, FR, GB, IT, LU, NL, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)