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1. (WO1989008847) PROCEDE ET TRANSDUCTEUR CAPACITIF DIFFERENTIEL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1989/008847    N° de la demande internationale :    PCT/US1989/000988
Date de publication : 21.09.1989 Date de dépôt international : 13.03.1989
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    06.10.1989    
CIB :
G01P 15/125 (2006.01)
Déposants : ENDEVCO CORPORATION [US/US]; c/o Allied-Signal Inc., Law Department (C.A. McNally), P.O. Box 2245R, Morristown, NJ 07960 (US)
Inventeurs : WILNER, Leslie, Bruce; (US)
Mandataire : WINTER, Richard, C.; Allied-Signal Inc., Law Department (C.A. McNally), P.O. Box 2245R, Morristown, NJ 07960 (US).
SMITH, Robert, C.; Allied-Signal Inc., Law Department (C.A. McNally), P.O. Box 2245R, Morristown, NJ 07960 (US)
Données relatives à la priorité :
167,936 14.03.1988 US
Titre (EN) DIFFERENTIAL CAPACITIVE TRANSDUCER AND METHOD
(FR) PROCEDE ET TRANSDUCTEUR CAPACITIF DIFFERENTIEL
Abrégé : front page image
(EN)A differential variable capacitance acceleration sensor includes a sandwich structure having three stacked plates (10, 40, 60) of silicon with the center plate (10) mounted such that its center portion (12) is enabled to move in a sealed cavity with each side thereof moving toward and away from a fixed cooperating plate forming the opposite side of a capacitive circuit. The center portion (12) or mass of the center plate (10) is suspended from its rim (14) by means of a large number of integral fingers (18, 20) extending from the rim (14) to the top and bottom surfaces of the center portion (12). This center mass (12) includes a number of through holes (16) to permit the passage of air from one side to the other and may also include grooves to aid in the flow of air. The fixed top plate or lid (40) and the base (60) also have, or may have, grooves (46, 66) to assist in the passage of air. An alternative embodiment includes a smaller number of more compliant fingers (108) to provide a more compliant structure. A number of spaced stops (48, 68) are provided in the lid and based to overcome electrostatic and pneumatic latch up. The method of forming the individual parts is also taught.
(FR)Un capteur différentiel de l'accélération à capacité variable comprend une structure en sandwich à trois plaques en silicium (10, 40, 60) empilées. La plaque centrale (10) est montée de sorte que sa partie centrale (12) puisse se déplacer dans une cavité hermétiquement fermée, ses côtés se rapprochant et s'éloignant d'une plaque fixe coopérative qui forme le côté opposé d'un circuit capacitif. La partie centrale (12) ou la masse de la plaque centrale (10) est suspendue par son bord (14) au moyen d'un grand nombre de doigts intégralement formés (18, 20) qui s'étendent du bord jusqu'aux faces supérieure et inférieure de la partie centrale (12). Cette masse centrale (12) comprend une pluralité d'orifices de passage (16) qui laissent passer l'air d'un côté à l'autre et elle peut également être pourvue de rainures afin de faciliter l'écoulement de l'air. La plaque fixe supérieure ou couvercle (40) et la base (60) peuvent elles aussi présenter des rainures (46, 66) pour faciliter le passage de l'air. Dans un autre mode de réalisation, un nombre réduit de doigts plus flexibles (108) permet d'obtenir une structure plus flexible. Une pluralité de butées espacées (48, 68) agencées dans le couvercle et conçues pour empêcher d'éventuels accrochages électrostatiques et pneumatiques. Le procédé de façonnage des parties individuelles est également décrit.
États désignés : JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, FR, GB, IT, LU, NL, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)