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1. (WO1989008322) IMAGERIE DE FAISCEAU IONIQUE FOCALISE ET COMMANDE DU PROCEDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1989/008322    N° de la demande internationale :    PCT/US1989/000520
Date de publication : 08.09.1989 Date de dépôt international : 09.02.1989
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    17.10.1989    
CIB :
H01J 37/30 (2006.01), H01J 37/305 (2006.01)
Déposants : MICRION CORPORATION [US/US]; One Corporation Way, Centennial Park, Peabody, MA 01960-7990 (US)
Inventeurs : WARD, Billy, W.; (US).
WARD, Michael, L.; (US)
Mandataire : JACOBS, David, A. @; Lahive & Cockfield, 60 State Street, Suite 510, Boston, MA 02109 (US)
Données relatives à la priorité :
160,578 26.02.1988 US
Titre (EN) FOCUSED ION BEAM IMAGING AND PROCESS CONTROL
(FR) IMAGERIE DE FAISCEAU IONIQUE FOCALISE ET COMMANDE DU PROCEDE
Abrégé : front page image
(EN)Ion beam machining apparatus utilizes a focused ion beam for sputtering a target, an electron source for charge neutralization of the target, photon detectors for detecting photo-emissions during sputtering, and an output module responsive to the photon detectors for locating the impingement site of the ion beam within the target, based on detection of transitions between different material constituents within the target. The focused ion beam can be scanned in selected patterns about a predetermined sputtering region of the target, and the output module can include imaging elements for generating an image of the target in response to detected photo-emissions.
(FR)Un appareillage d'usinage à faisceau ionique utilise un faisceau ionique focalisé pour la pulvérisation cathodique d'une cible, une source d'électrons permettant la neutralisation de charge de la cible, des détecteurs de photons afin de détecter les photo-émissions pendant la pulvérisation cathodique, ainsi qu'un module de sortie réagissant aux détecteurs de photons afin de localiser le site d'impact du faisceau ionique dans la cible, basé sur la détection de transitions entre différents constituants de matériau à l'intérieur de la cible. On peut balayer le faisceau ionique focalisé dans des configurations sélectionnées, autour d'une région de pulvérisation cathodique prédéterminée de la cible. Le module de sortie peut comprendre des éléments d'imagerie afin de produire une image de la cible en réponse à des photo-émissions détectées.
États désignés : JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, FR, GB, IT, LU, NL, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)