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1. (WO1987002608) SYSTEME DE POLISSAGE POURVU D'UN ORGANE DE PRELEVEMENT DE BERNOULLI IMMERGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1987/002608    N° de la demande internationale :    PCT/US1986/001724
Date de publication : 07.05.1987 Date de dépôt international : 25.08.1986
CIB :
B23Q 7/04 (2006.01), B24B 37/34 (2012.01), B24B 7/20 (2006.01), B24B 7/22 (2006.01)
Déposants : MOTOROLA, INC. [US/US]; 1303 E. Algonquin Road, Schaumburg, IL 60196 (US)
Inventeurs : CRONKHITE, Paul, W.; (US).
BOSLEY, Bruce, C.; (US).
JONES, James, H.; (US).
PATEL, Asit, G.; (US)
Mandataire : BARBEE, Joe, E. @; Motorola, Inc., Patent Department - Suite 300K, 4250 E. Camelback Road, Phoenix, AZ 85018 (US)
Données relatives à la priorité :
793,818 01.11.1985 US
Titre (EN) POLISHING SYSTEM WITH UNDERWATER BERNOULLI PICKUP
(FR) SYSTEME DE POLISSAGE POURVU D'UN ORGANE DE PRELEVEMENT DE BERNOULLI IMMERGE
Abrégé : front page image
(EN)An automatic polishing system (10) for polishing semiconductor material. A robot (20) and Bernoulli pickup (30) are used to retrieve polished wafers from an underwater unload station (62) which is located on a wafer polisher (60). The polished wafer is then deposited into a cassette which is located underwater.
(FR)Système de polissage automatique (10) pour le polissage d'un matériau semi-conducteur. Un robot (20) et un organe de prélèvement de Bernoulli (30) sont utilisés pour extraire les plaquettes polies d'une station de décharge immergée (62) située sur une machine de polissage de plaquettes (60). Les plaquettes polies sont ensuite déposées dans une cassette immergée.
États désignés : JP.
Office européen des brevets (OEB) (CH, DE, FR, GB, IT).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)