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1. (WO1986005240) PROCEDE ET DISPOSITIF DE REGENERATION DE CRYOPOMPES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1986/005240    N° de la demande internationale :    PCT/US1986/000462
Date de publication : 12.09.1986 Date de dépôt international : 03.03.1986
CIB :
F04B 37/08 (2006.01)
Déposants : HELIX TECHNOLOGY CORPORATION [US/US]; 266 Second Avenue, Waltham, MA 02154 (US)
Inventeurs : ANDEEN, Bruce, R.; (US).
PANDORF, Robert, C.; (US)
Mandataire : SMITH, James, M. @; Hamilton, Brook, Smith and Reynolds, Two Militia Drive, Lexington, MA 02173 (US)
Données relatives à la priorité :
707,467 01.03.1985 US
Titre (EN) CRYOPUMP REGENERATION METHOD AND APPARATUS
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE REGENERATION DE CRYOPOMPES
Abrégé : front page image
(EN)A cryopump is regenerated by means of an ejector pump (70) which draws gas from the cryopump as the pump is warmed. The ejector (70) is actuated by an inert gas. The same inert gas may also be used to purge the pump during evacuation.
(FR)Une cryopompe est régénérée à l'aide d'une pompe à éjection (70) qui aspire le gaz de la cryopompe, pendant que cette dernière est chauffée. L'éjecteur (70) est actionné par un gaz inerte. Ce même gaz inerte peut être utilisé pour purger la pompe pendant l'évacuation.
États désignés : JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, FR, GB, IT, LU, NL, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)