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1. (WO1986004732) SYSTEME DE COLLECTE ET DE TRANSPORT D'IONS SECONDAIRES POUR MICROSONDE A IONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/1986/004732 N° de la demande internationale : PCT/US1985/002310
Date de publication : 14.08.1986 Date de dépôt international : 25.11.1985
CIB :
H01J 37/256 (2006.01) ,H01J 49/06 (2006.01) ,H01J 49/14 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
252
Tubes analyseurs à spot par faisceaux électroniques ou ioniques; Micro-analyseurs
256
utilisant des faisceaux de balayage
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
49
Spectromètres pour particules ou tubes séparateurs de particules
02
Détails
06
Dispositifs électronoptiques ou ionoptiques
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
49
Spectromètres pour particules ou tubes séparateurs de particules
02
Détails
10
Sources d'ions; Canons à ions
14
utilisant un bombardement de particules, p.ex. chambres d'ionisation
Déposants :
HUGHES AIRCRAFT COMPANY [US/US]; 200 North Sepulveda Boulevard El Segundo, CA 90245, US
Inventeurs :
WARD, James, W.; US
SCHLANGER, Herbert; US
McNULTY, Hugh, Jr.; US
PARKER, Norman, W.; US
Mandataire :
SARJEANT, John, A. @; Hughes Aircraft Company P.O. Box 1042 Bldg. C2, M.S. A126 El Segundo, CA 90245, US
Données relatives à la priorité :
696,61630.01.1985US
Titre (EN) SECONDARY ION COLLECTION AND TRANSPORT SYSTEM FOR ION MICROPROBE
(FR) SYSTEME DE COLLECTE ET DE TRANSPORT D'IONS SECONDAIRES POUR MICROSONDE A IONS
Abrégé :
(EN) A secondary ion collection and transport system, for use with an ion microprobe, which is very compact and occupies only a small working distance, thereby enabling the primary ion beam to have a short focal length and high resolution. Ions sputtered from the target surface (80) by the primary (66) beam's impact are collected between two arcuate members (84, 86) having radii of curvature and applied voltages that cause only ions within a specified energy band to be collected. The collected ions are accelerated and focused in a transport section (90) consisting of a plurality of spaced conductive members which are coaxial with and distributed along the desired ion path (82). Relatively high voltages are applied to alternate transport sections to produce accelerating electric fields sufficient to transport the ions through the section to an ion mass analyzer (94), while lower voltages are applied to the other transport sections to focus the ions and bring their velocity to a level compatible with the analyzing apparatus.
(FR) Un système de collecte et de transport d'ions secondaires utilisé avec une microsonde à ions est très compact et occupe une distance de travail réduite, ce qui permet d'obtenir une longueur focale réduite et une résolution élevée du faisceau primaire d'ions. Les ions éjectés de la surface cible (80) par l'impact du faisceau primaire (66) sont recueillis entre deux éléments courbes (84, 86) dont le rayon de courbure et la tension appliquée font que seuls des ions dans une bande d'énergie spécifique sont recueillis. Les ions recueillis sont accélérés et focalisés dans une section de transport (90) comprenant une pluralité d'organes conducteurs espacés coaxiaux avec le trajet voulu (82) des ions, et distribués le long de celui-ci. Des tensions relativement élevées sont appliquées à des sections alternées de transport fin de produire des champs électriques d'accélération suffisants pour transporter les ions à travers la section jusqu'à un analyseur (94) de la masse des ions, pendant que des tensions plus basses sont appliquées aux autres sections de transport afin de focaliser les ions et de ramener leur vitesse jusqu'à un niveau compatible avec l'appareil d'analyse.
États désignés : JP
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, FR, GB, IT, LU, NL, SE)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)
Also published as:
EP0210182