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1. (WO1986000870) APPAREIL STANDARD D'INTERFACE ETANCHE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1986/000870    N° de la demande internationale :    PCT/US1985/001446
Date de publication : 13.02.1986 Date de dépôt international : 29.07.1985
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : ASYST TECHNOLOGIES [US/US]; 46309 Warm Springs Boulevard, Fremont, CA 94539 (US)
Inventeurs : MANEY, George, Allan; (US).
O'SULLIVAN, Andrew, William; (US).
FARACO, W., George; (US)
Mandataire : LOVEJOY, David, E.; Fliesler, Dubb, Meyer & Lovejoy, 4 Embarcadero Center, Suite 1740, San Francisco, CA 94111-4156 (US)
Données relatives à la priorité :
635,384 30.07.1984 US
Titre (EN) SEALED STANDARD INTERFACE APPARATUS
(FR) APPAREIL STANDARD D'INTERFACE ETANCHE
Abrégé : front page image
(EN)Apparatus for maintaining articles, such as semiconductor wafers (82) clean. The wafers (82) or other articles to be processed are placed in a box (90) having first (1) and second (2) regions for making first and second seals. A box door (99) seals the articles into the box. The box (90) has a second region (2) for making the second seal and has a third region (3) for making a third seal. The box (90) is used to transport the wafers (82) to a port (20) in the canopy (10) of the processing equipment (15). The port (20) is adapted for receiving the box (90) and box door (99) and for transferring the box door (99) and the contents of the box (90) into a region (1) for making the first seal with the box (90). Also, the canopy (10) has a fourth region (4) surrounding the port (20) for making a fourth seal. A port door (99) is provided for closing the canopy port (20) when no box (90) is present. The port door (99) has a second seal region (2) for making the second seal with the box (90) and has a fourth region (4) for making the fourth seal with the canopy (10). A box door latch (17, 19, 27) is provided for latching the box door (10) to the box (90) whereby the second seal is made and released in the second region (2) between the box door (99) and the box (90) by operation of the box door latch (17, 19, 27). A box latch (45) is provided for latching the box (90) to the canopy (10) whereby the first seal is made or released in the first region (1) between the box (90) and the canopy (10) by the operation of the box latch (45).
(FR)Appareil pour maintenir propres des articles tels que des plaquettes semiconductrices (82). Les plaquettes (82) ou autres articles destinés à être traités sont placés dans une boîte (90) ayant une première (1) et une deuxième (2) zones pour former un premier et un deuxième sceaux. La porte (99) de la boîte enferme de façon étanche les articles dans la boîte. La boîte (90) a une deuxième zone (2) pour former un deuxième sceau et une troisième zone (3) pour former un troisième sceau. La boîte (90) est utilisée pour transporter les plaquettes (82) jusqu'à un orifice (20) dans le couvercle (10) de l'équipement de traitement (15). L'orifice (20) est adapté pour recevoir la boîte (90) et la porte (99) de la boîte et pour transférer la porte (99) de la boîte et le contenu de la boîte (90) dans une zone (1) qui forme le premier sceau avec la boîte (90). En outre, le couvercle (10) comprend une quatrième zone (4) qui entoure l'orifice (20) pour former un quatrième sceau. Une porte (99) est prévue pour fermer l'orifice (20) dans le couvercle lorsqu'aucune boîte (90) n'est présente. La porte (99) de l'orifice comprend une deuxième zone d'étanchéité (2) pour former un deuxième sceau avec la boîte (90) et une quatrième zone (4) pour former un quatrième sceau avec le couvercle (10). Un loquet (17, 19, 27) est prévu pour verrouiller la porte (10) de la boîte (90), le deuxième sceau étant formé et libéré dans la deuxième zone (2) entre la porte (99) de la boîte et la boîte (90) lorsque l'on actionne le loquet (17, 19, 27) de la porte de la boîte. Un loquet (45) est prévu pour fixer la boîte (90) au couvercle (10), le premier sceau étant formé ou libéré dans la première zone (1) entre la boîte (90) et le couvercle (10) lorsque l'on actionne le loquet (45) de la boîte.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (DE, GB, NL).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)