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1. (WO1985000693) COLONNE A FAISCEAU IONIQUE FOCALISE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/1985/000693 N° de la demande internationale : PCT/US1984/000982
Date de publication : 14.02.1985 Date de dépôt international : 25.06.1984
CIB :
H01J 37/30 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
30
Tubes à faisceau électronique ou ionique destinés aux traitements localisés d'objets
Déposants :
HUGHES AIRCRAFT COMPANY [US/US]; 200 North Sepulveda Boulevard El Segundo, CA 90245, US
Inventeurs :
McKENNA, Charles, M.; US
CLARK, William, M., Jr.; US
SELIGER, Robert, L.; US
Mandataire :
ROSENBERG, Gerald, B. @; Hughes Aircraft Company P.O. Box 1042 Bldg. C2 - M.S. A126 El Segundo, CA 90245, US
Données relatives à la priorité :
512,87912.07.1983US
Titre (EN) FOCUSED ION BEAM COLUMN
(FR) COLONNE A FAISCEAU IONIQUE FOCALISE
Abrégé :
(EN) Two lens focused ion beam column (10) has an accelerating lens (20) which carries a potential to focus a nonmagnified image of the liquid metal ion source (14) on the mass analyzer slit (26). Munro lens (36) accelerates the beam of selected ion species and demagnifies the image to provide an ion writing spot of less than about 1000 Ao size.
(FR) Une colonne à faisceau ionique focalisé (10) à deux lentilles possède une lentille accélératrice (20) soumise à un potentiel pour focaliser une image non agrandie de la source (14) d'ions de métal liquide sur la fente de l'analyseur de masse (26). Une lentille de Munro (36) accélère le faisceau d'espèces d'ions sélectionnées et réduit l'image pour produire un point d'écriture ionique d'une dimension inférieure à d'environ 1000 Ao.
États désignés : JP
Office européen des brevets (OEB) (AT, CH, DE, FR, GB, NL)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
EP0155283JPS60501828