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1. (WO1985000466) APPAREIL DE TRAITEMENT PAR PLASMA DE SUBSTRATS EN FORME DE PLAQUETTES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1985/000466    N° de la demande internationale :    PCT/FR1984/000167
Date de publication : 31.01.1985 Date de dépôt international : 05.07.1984
CIB :
C23C 16/509 (2006.01), C23C 8/36 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01), H01J 37/34 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : PARRENS, Pierre [FR/FR]; (FR)
Inventeurs : PARRENS, Pierre; (FR)
Mandataire : CASALONGA, Alain @; Bureau D. A. Casalonga Office Josse & Petit, 8, avenue Percier, F-75008 Paris (FR)
Données relatives à la priorité :
83/11183 05.07.1983 FR
Titre (EN) APPARATUS FOR PLASMA TREATMENT OF PLATE-SHAPED SUBSTRATS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT PAR PLASMA DE SUBSTRATS EN FORME DE PLAQUETTES
Abrégé : front page image
(EN)Apparatus for treating by plasma plate-shaped substrats, comprising a reaction vessel (2) provided with supply means (48) and discharge means (50) for a reaction gas, and anode (46), a plurality of cathodes (13) at the periphery of which are provided gas flow passages (40, 41) through which the reaction gas may flow from the gas supply means provided on the side of the surfaces (15c, 16c) of the cathodes receiving the small plates up to the discharge means (50) arranged downstream of those gas flow passages (40, 41). This treatment apparatus may also comprise a removable tray (38) to load and unload the small plates, said flow passages (40, 41) being delimited by the walls of the electrodes and of the traversing passages provided in said tray (38).
(FR)Appareil de traitement par plasma de substrats en forme de plaquettes comprenant une enceinte de réaction (2) munie de moyens d'amenée (48) et de moyens d'évacuation (50) pour un gaz de réaction, une anode (46), une multiplicité de cathodes (13) à la périphérie desquelles sont ménagés des espaces d'écoulement (40, 41) de gaz au travers desquels le gaz de réaction peut s'écouler depuis les moyens d'amenée de gaz situés du côté des surfaces (15c, 16c) des cathodes recevant les plaquettes jusqu'aux moyens d'évacuation (50) placés en aval de ces espaces d'écoulement (40, 41). Cet appareil de traitement peut également comprendre un plateau amovible (38) pour charger et décharger les plaquettes, lesdits espaces d'écoulement (40, 41) étant délimités par les parois des électrodes et les parois des passages traversants prévus dans ce plateau (38).
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, FR, GB, LU, NL, SE).
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)