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1. (WO1984001968) PROCEDE D"EPITAXIE EN PHASE LIQUIDE ET DISPOSITIF PERMETTANT D"EXECUTER CE PROCEDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1984/001968    N° de la demande internationale :    PCT/SE1983/000393
Date de publication : 24.05.1984 Date de dépôt international : 11.11.1983
CIB :
C30B 19/06 (2006.01)
Déposants :
Inventeurs :
Données relatives à la priorité :
  30.12.1899 null
Titre (EN) METHOD IN LIQUID PHASE EPITAXY AND APPARATUS FOR CARRYING OUT THE METHOD
(FR) PROCEDE D"EPITAXIE EN PHASE LIQUIDE ET DISPOSITIF PERMETTANT D"EXECUTER CE PROCEDE
Abrégé : front page image
(EN)Method and apparatus for liquid phase epitaxy, where a predetermined number of liquid phase melts are provided in a melt holder (1), whereafter a substrate (17) is brought into contact with the melts in turn for growing a number of epitaxial layers on the substrate (17) corresponding to the number of melts. In accordance with the invention the substrate (17) is kept at a lower temperature than the melt temperature during heating the melt, for being brought adjacent the melt holder (1) just before the growing phase. To eliminate the risk of the substrate transferring drops from one melt to a subsequent melt and thereby contaminate the latter, the melts are tapped off in turn down into a melt collector (11) as soon as growth has taken place in contact with the respective melt.
(FR)Procédé et dispositif d"épitaxie en phase liquide, où un nombre prédéterminé de fontes en phase liquide sont disposées dans un conteneur de fonte (1), un substrat (17) étant amené par la suite en contact avec les fontes l"une après l"autre de manière à provoquer la croissance d"un certain nombre de couches épitaxiales sur le substrat (17) en fonction du nombre de fontes. Selon l"invention le substrat (17) est maintenu à une température plus basse que la température de la fonte pendant la chauffe de cette dernière, et il est amené à proximité du support de fonte (1) juste avant la phase de croissance. Afin d"éliminer le risque d"un transfert de la part du substrat de gouttes d"une fonte à la fonte suivante, ce qui contaminerait cette dernière, les fontes sont drainées tour à tour dans un collecteur de fontes (11) aussitôt que la croissance a eu lieu en contact avec la fonte respective.
États désignés :
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)