WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO1981003377) PROCEDE ET SYSTEME DE RECONNAISSANCE DE MOTIFS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1981/003377    N° de la demande internationale :    PCT/US1981/000644
Date de publication : 26.11.1981 Date de dépôt international : 15.05.1981
CIB :
G03F 9/00 (2006.01), G06K 9/32 (2006.01)
Déposants :
Inventeurs :
Données relatives à la priorité :
151418 19.05.1980 US
Titre (EN) A PATTERN RECOGNITION SYSTEM AND METHOD
(FR) PROCEDE ET SYSTEME DE RECONNAISSANCE DE MOTIFS
Abrégé : front page image
(EN)A pattern recognition system for providing automatic alignment capability for a semiconductor wafer (10) or other object. The system includes an integrator (32) for electronically smearing input data representing the reflected light level of a scanned object (10), means (35-37) for digitizing the smeared data, and processor means (60) for determining the best match between the smeared, digitized data and predetermined stored data, thereby representing proper alignment of the wafer (10) or other object.
(FR)Systeme de reconnaissance de motifs permettant l'alignement automatique d'une tranche a semi-conducteur (10) ou autre objet. Le systeme comprend un integrateur (32) pour brouiller electroniquement des donnees d'entree representant le niveau de lumiere reflechie d'un objet balaye (10), des moyens (35-37) pour digitaliser les donnees brouillees, et un processeur (60) pour determiner le meilleur couplage entre les donnees brouillees digitalisees et des donnees stockees predeterminees, representant ainsi un alignement approprie de la tranche (10) ou autre objet.
États désignés :
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)