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1. (WO1981000862) PROCEDES ET APPAREIL DE PRODUCTION DE PLASMAS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1981/000862    N° de la demande internationale :    PCT/US1980/001170
Date de publication : 02.04.1981 Date de dépôt international : 11.09.1980
CIB :
B01J 19/12 (2006.01), C23C 16/517 (2006.01), H05H 1/46 (2006.01)
Déposants :
Inventeurs :
Données relatives à la priorité :
77220 20.09.1979 US
Titre (EN) METHODS AND APPARATUS FOR GENERATING PLASMAS
(FR) PROCEDES ET APPAREIL DE PRODUCTION DE PLASMAS
Abrégé : front page image
(EN)An RF-excited radial-flow, cylindrical plasma reactor (10) includes a toroidal waveguide (17) of rectangular cross-section connected to a microwave source (21). One of the reactive species (37) is flowed through the waveguide and pre-ionized, thus, permitting independent control over the activation of both reactive species.
(FR)Un reacteur cylindrique de plasmas (10), a ecoulement radial a excitation (RF), comprend un guide d'ondes toroidal (17) de section rectangulaire connecte a une source de micro-ondes (21). On fait passer l'une des especes reactionnelles (37) au travers du guide d'ondes et elle est pre-ionisee, permettant ainsi une commande independante sur l'activation des deux especes reactionnelles.
États désignés :
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)