WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO1980002772) SYSTEME DE PROJECTION D"UN RAYON ELECTRONIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1980/002772    N° de la demande internationale :    PCT/JP1980/000125
Date de publication : 11.12.1980 Date de dépôt international : 06.06.1980
CIB :
H01J 37/302 (2006.01)
Déposants :
Inventeurs :
Données relatives à la priorité :
79/73811 12.06.1979 JP
Titre (EN) ELECTRON BEAM PROJECTING SYSTEM
(FR) SYSTEME DE PROJECTION D"UN RAYON ELECTRONIQUE
Abrégé : front page image
(EN)An electron beam projecting system for patterning in which, using an encircle-diagram (Q) which encircles a pattern (P) and is more simplified than the pattern (P), electron-beam-projecting position-information for the pattern according to the encircle-diagram, is stored in a pattern-package-memory and the electron-beam-projecting position-information, start-point data of the encircle-diagram and scanning information are supplied to deflecting means (82, 85) in electron-beam-projecting equipment (8).
(FR)Un systeme de projection d"un rayon electronique de modelage dans lequel, par utilisation d"un diagramme d"encerclement (Q) qui encercle un modele (P) et est plus simplifie que le modele (P), des informations de position de la projection du rayon electronique concernant le modele en fonction du diagramme d"encerclement, sont stockees dans une memoire de modele et les informations de position de la projection du rayon electronique, donnees de point de depart du diagramme d"encerclement et des informations d"exploration sont envoyees a des moyens de deflexion (82, 85) dans l"appareil de projection du rayon electronique (8).
États désignés :
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)