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1. (WO1980002622) BATEAU DE TRANSPORT DE SUBSTRAT A SEMI-CONDUCTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1980/002622    N° de la demande internationale :    PCT/JP1980/000099
Date de publication : 27.11.1980 Date de dépôt international : 09.05.1980
CIB :
C30B 31/10 (2006.01)
Déposants :
Inventeurs :
Données relatives à la priorité :
79/62674 11.05.1979 JP
Titre (EN) BOAT FOR CONVEYING SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
(FR) BATEAU DE TRANSPORT DE SUBSTRAT A SEMI-CONDUCTEUR
Abrégé : front page image
(EN)In a boat (2) with wheels (3) for conveying semiconductor substrates, friction surfaces in the wheel system are coated with a silicon nitride layer (8) so as to prevent fouling phenomena in processes of diffusion, oxidation and annealing.
(FR)Dans un bateau (2) avec des roues (3) de transport de substrats semi-conducteurs, des surfaces de friction dans le systeme des roues sont revetues d"une couche de nitrure de silicium (8) afin d"empecher le phenomene d"encrassement de se produire dans les procedes de diffusion, oxydation et recuit.
États désignés :
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)