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1. (WO1980002622) BATEAU DE TRANSPORT DE SUBSTRAT A SEMI-CONDUCTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/1980/002622 N° de la demande internationale : PCT/JP1980/000099
Date de publication : 27.11.1980 Date de dépôt international : 09.05.1980
CIB :
C30B 31/10 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
30
CROISSANCE DES CRISTAUX
B
CROISSANCE DES MONOCRISTAUX; SOLIDIFICATION UNIDIRECTIONNELLE DES MATÉRIAUX EUTECTIQUES OU DÉMIXTION UNIDIRECTION- NELLE DES MATÉRIAUX EUTECTOÏDES; AFFINAGE DES MATÉRIAUX PAR FUSION DE ZONE; PRODUCTION DE MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS HOMOGÈNES DE STRUCTURE DÉTERMINÉE; MONOCRISTAUX OU MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS HOMOGÈNES DE STRUCTURE DÉTERMINÉE; POST-TRAITEMENT DE MONOCRISTAUX OU DE MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS HOMOGÈNES DE STRUCTURE DÉTERMINÉE; APPAREILLAGES À CET EFFET
31
Procédés de diffusion ou de dopage des monocristaux ou des matériaux polycristallins homogènes de structure déterminée; Appareillages à cet effet
06
par contact avec la substance de diffusion à l'état gazeux
10
Enceintes de réaction; Emploi d'un matériau spécifié à cet effet
Déposants :
Inventeurs :
Données relatives à la priorité :
79/6267411.05.1979JP
Titre (EN) BOAT FOR CONVEYING SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
(FR) BATEAU DE TRANSPORT DE SUBSTRAT A SEMI-CONDUCTEUR
Abrégé :
(EN) In a boat (2) with wheels (3) for conveying semiconductor substrates, friction surfaces in the wheel system are coated with a silicon nitride layer (8) so as to prevent fouling phenomena in processes of diffusion, oxidation and annealing.
(FR) Dans un bateau (2) avec des roues (3) de transport de substrats semi-conducteurs, des surfaces de friction dans le systeme des roues sont revetues d"une couche de nitrure de silicium (8) afin d"empecher le phenomene d"encrassement de se produire dans les procedes de diffusion, oxydation et recuit.
États désignés :
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)
Also published as:
EP0028266US4389967