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1. (WO1980001722) PROCEDE ET INSTALLATION POUR COPIER DES MASQUES SUR UNE PIECE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1980/001722    N° de la demande internationale :    PCT/EP1980/000007
Date de publication : 21.08.1980 Date de dépôt international : 07.02.1980
CIB :
G03F 9/00 (2006.01)
Déposants :
Inventeurs :
Données relatives à la priorité :
2905636 14.02.1979 DE
Titre (EN) PROCESS AND EQUIPMENT FOR COPYING MASKS ON A PIECE
(FR) PROCEDE ET INSTALLATION POUR COPIER DES MASQUES SUR UNE PIECE
Abrégé : front page image
(EN)To copy masks on a piece, particularly to copy them by projection on a semiconductor substrate with a view to producing integrated circuits, a model of the mask is reproduced successively on respective predetermined areas of the piece, by translation of the piece in the image plane. In order to enhance the precision of the different images, the alignment mis existing between the image of the mask model and the predetermined area on the piece is determined, during the reproduction, and the predetermined value of the translation of the piece for the area intended to a next image or the mask position is corrected by an amount equal to the alignment error.
(FR)Pour copier des masques sur une piece, en particulier pour les copier par projection sur un substrat semi-conducteur en vue de la fabrication de circuits integres, on reproduit successivement, par translation de la piece dans le plan de l"image, un modele du masque sur des zones respectives predeterminees de la piece. Afin d"augmenter la precision des differentes images on determine, pendant la reproduction, le defaut d"alignement existant entre l"image du modele du masque et la zone predeterminee sur la piece, et on corrige, d"une quantite egale a l"erreur d"alignement, la valeur predeterminee de la translation de la piece pour la zone destinee a une image suivante ou la position du masque.
États désignés :
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)