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1. (WO1980000634) STRUCTURE DE MASQUAGE POUR LES RADIATIONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1980/000634    N° de la demande internationale :    PCT/US1979/000692
Date de publication : 03.04.1980 Date de dépôt international : 06.09.1979
CIB :
G03F 1/22 (2012.01), G21K 5/02 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/30 (2006.01)
Déposants :
Inventeurs :
Données relatives à la priorité :
941776 13.09.1978 US
Titre (EN) RADIATION MASK STRUCTURE
(FR) STRUCTURE DE MASQUAGE POUR LES RADIATIONS
Abrégé : front page image
(EN)The discovery that boron nitride and boron carbide films can be made in tension allows nondistorting radiation windows or masks to be realized. Both low and high pressure techniques for making the tensile films (13) lead to related mask structures (10) utilizing such films. The resulting structures are sufficiently distortion free to be useful for x-ray lithography.
(FR)La decouverte que des films en nitrure ou carbure de bore peuvent etre obtenus sous tension permet la realisation de fenetres ou de masques sans distorsion des radiations. Des techniques a la fois a basse et a haute pression pour la preparation de ces films ductiles (13) aboutissent a des structures de masques equivalentes (10) utilisant de tels films. Les structures resultantes sont suffisamment exemptes de distorsion pour etre utiles dans la lithographie aux rayons-X.
États désignés :
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)