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1. (WO1979000283) RESERVES DE TYPE POSITIF DE COMPOSITION POLYMERE ET METHODE DE FABRICATION DE MODELES DE RESERVE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1979/000283    N° de la demande internationale :    PCT/JP1978/000021
Date de publication : 31.05.1979 Date de dépôt international : 06.11.1978
CIB :
G03F 7/039 (2006.01)
Déposants :
Inventeurs :
Données relatives à la priorité :
77/133336 07.11.1977 JP
Titre (EN) POSITIVE TYPE RESIST POLYMER COMPOSITION AND METHOD OF MAKING RESIST PATTERNS
(FR) RESERVES DE TYPE POSITIF DE COMPOSITION POLYMERE ET METHODE DE FABRICATION DE MODELES DE RESERVE
Abrégé : front page image
(EN)A positive type resist polymer crosslinkable composition resistant to ionizing radiation or ultraviolet rays and composed of the following units (a), (b) and (c) respectively in a polymerized state: (a) about 70 to 99 molar percent of a unit derived from methacrylic acid ester which is represented by the formula: CH2 = C(CH3) . COOR (wherein R represents alkyl or haloalkyl radicals having 1 to 6 carbon atoms, benzyl radical or cyclohexyl radical), (b) about 1 to 20 molar percent of a unit derived from methacrylamide, and (c) about 0.05 to 20 molar percent of a unit derived from methacrylic acid chloride, (wherein the quantity of each of units (a), (b) and (c) is based on the total molarity of units (a), (b) and (c)). The polymer composition is preferably either a copolymer consisting of units (a), (b) and (c) or a composition in a blended state composed of a copolymer consisting of a part of unit (a) and unit (b) and a copolymer consisting of the residual part of unit (a) and unit (c).
(FR)Une reserve de type positif de composition polymere reticulable agissant contre les radiations ioniantes ou les rayons ultraviolets se compose des elements (a), (b) et (c) suivants, a l"etat polymerise respectivement: (a) d"un pourcentage molaire de 70 a 99 environ d"un element derive d"un ester d"acide methacrylique, represente par la formule: CH2 = C(CH3) . COOR (ou R represente le radical alkyle ou haloalkyle ayant de 1 a 6 atomes de carbone, le radical benzyle ou le radical cyclohexyle), (b) d"un pourcentage molaire de 1 a 20 environ d"un element derive du methacrylamide, (c) d"un pourcentage molaire de 0,05 a 20 environ d"un element derive du chlorure d"acide methacrylique (ou la quantite de chaque element (a), (b) et (c) est calculee d"apres la molarite totale des elements (a), (b) et (c). La composition polymere est, de preference, soit un copolymere consistant en elements (a),(b) et (c), soit en une composition a l"etat de melange formee d"un copolymere consistant en une partie des elements (a) et (b) et d"un copolymere consistant en la partie restante des elements (a) et (c).
États désignés :
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)