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1. US20090273823 - Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control

Office
États-Unis d'Amérique
Numéro de la demande 12436064
Date de la demande 05.05.2009
Numéro de publication 20090273823
Date de publication 05.11.2009
Numéro de délivrance 07952787
Date de délivrance 31.05.2011
Type de publication B2
CIB
G02B 26/00
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
G02B 26/08
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
B05D 5/12
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
05PULVÉRISATION OU ATOMISATION EN GÉNÉRAL; APPLICATION DE LIQUIDES OU D'AUTRES MATÉRIAUX FLUIDES AUX SURFACES, EN GÉNÉRAL
DPROCÉDÉS POUR APPLIQUER DES LIQUIDES OU D'AUTRES MATÉRIAUX FLUIDES AUX SURFACES, EN GÉNÉRAL
5Procédés pour appliquer des liquides ou d'autres matériaux fluides aux surfaces pour obtenir des effets, finis ou des structures de surface particuliers
12pour obtenir un revêtement ayant des propriétés électriques spécifiques
Déposants QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.
Inventeurs Tung Ming-Hau
Kogut Lior
Mandataires Knobbe Martens Olson & Bear LLP
Titre
(EN) Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control
Abrégé
(EN)

Methods and apparatus are provided for controlling a depth of a cavity between two layers of a light modulating device. A method of making a light modulating device includes providing a substrate, forming a sacrificial layer over at least a portion of the substrate, forming a reflective layer over at least a portion of the sacrificial layer, and forming one or more flexure controllers over the substrate, the flexure controllers configured so as to operably support the reflective layer and to form cavities, upon removal of the sacrificial layer, of a depth measurably different than the thickness of the sacrificial layer, wherein the depth is measured perpendicular to the substrate.