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1. US6168502 - Subsonic to supersonic and ultrasonic conditioning of a polishing pad in a chemical mechanical polishing apparatus

Office
États-Unis d'Amérique
Numéro de la demande 09211024
Date de la demande 14.12.1998
Numéro de publication 6168502
Date de publication 02.01.2001
Numéro de délivrance 6168502
Date de délivrance 02.01.2001
Type de publication B1
CIB
B24C 5/02
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
24MEULAGE; POLISSAGE
CTRAITEMENT AU JET ABRASIF OU JET ANALOGUE, AVEC DES MATÉRIAUX EN PARTICULES
5Dispositifs ou accessoires pour la production des jets abrasifs
02Canons, p.ex. pour produire des jets de fluides abrasifs à grande vitesse pour la coupe de matériaux
B24B 1/00
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
24MEULAGE; POLISSAGE
BMACHINES, DISPOSITIFS OU PROCÉDÉS POUR MEULER OU POUR POLIR; DRESSAGE OU REMISE EN ÉTAT DES SURFACES ABRASIVES; ALIMENTATION DES MACHINES EN MATÉRIAUX DE MEULAGE, DE POLISSAGE OU DE RODAGE
1Procédés de meulage ou de polissage; Utilisation d'équipements auxiliaires en relation avec ces procédés
B24B 1/04
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
24MEULAGE; POLISSAGE
BMACHINES, DISPOSITIFS OU PROCÉDÉS POUR MEULER OU POUR POLIR; DRESSAGE OU REMISE EN ÉTAT DES SURFACES ABRASIVES; ALIMENTATION DES MACHINES EN MATÉRIAUX DE MEULAGE, DE POLISSAGE OU DE RODAGE
1Procédés de meulage ou de polissage; Utilisation d'équipements auxiliaires en relation avec ces procédés
04en soumettant les outils de meulage ou de polissage, les produits de meulage ou de polissage ou les pièces à des vibrations, p.ex. meulage en fréquence ultrasonore
B24B 37/04
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
24MEULAGE; POLISSAGE
BMACHINES, DISPOSITIFS OU PROCÉDÉS POUR MEULER OU POUR POLIR; DRESSAGE OU REMISE EN ÉTAT DES SURFACES ABRASIVES; ALIMENTATION DES MACHINES EN MATÉRIAUX DE MEULAGE, DE POLISSAGE OU DE RODAGE
37Machines ou dispositifs de rodage; Accessoires
04conçus pour travailler les surfaces planes
B24B 53/007
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
24MEULAGE; POLISSAGE
BMACHINES, DISPOSITIFS OU PROCÉDÉS POUR MEULER OU POUR POLIR; DRESSAGE OU REMISE EN ÉTAT DES SURFACES ABRASIVES; ALIMENTATION DES MACHINES EN MATÉRIAUX DE MEULAGE, DE POLISSAGE OU DE RODAGE
53Dispositifs ou moyens pour dresser ou remettre en état des surfaces abrasives
007Nettoyage des meules
CPC
B24B 53/017
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING
53Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
017Devices or means for dressing, cleaning or otherwise conditioning lapping tools
B24B 1/04
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING
1Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
04subjecting the grinding or polishing tools, the abrading or polishing medium or work to vibration, e.g. grinding with ultrasonic frequency
Y10S 451/91
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
451Abrading
91Ultrasonic
Déposants LSI Logic Corporation
Inventeurs Allman, Derryl D. J.
Gregory, John W.
Données relatives à la priorité 08696445 13.08.1996 US
09211024 14.12.1998 US
Titre
(EN) Subsonic to supersonic and ultrasonic conditioning of a polishing pad in a chemical mechanical polishing apparatus
Abrégé
(EN)

The present invention provides a method and apparatus for conditioning a polishing pad in which slurry is directed under pressure at the polishing pad. Additionally, energy (i.e., ultrasonic energy) may be added to the slurry as it is directed towards the polishing pad, wherein embedded material in the polishing pad is removed or dislodged.