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1. SG146113 - POLISHING COMPOSITION FOR SILICON WAFER, COMPOSITION KIT FOR SILICON WAFER POLISHING, AND METHODS OF POLISHING SILICON WAFER

Office
Singapour
Numéro de la demande 2008067985
Date de la demande 18.10.2006
Numéro de publication 146113
Date de publication 30.10.2008
Type de publication A
Déposants DUPONT AIRPRODUCTS NANOMATERIALS LIMITED LIABILITY COMPANY
Inventeurs IWATA, NAOYUKI
NAGASHIMA, ISAO
Données relatives à la priorité 2006-071503 15.03.2006 JP
Titre
(EN) POLISHING COMPOSITION FOR SILICON WAFER, COMPOSITION KIT FOR SILICON WAFER POLISHING, AND METHODS OF POLISHING SILICON WAFER
Abrégé