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1. KR1020090033882 - METHOD OF MANUFACTURING MEMS DEVICES PROVIDING AIR GAP CONTROL

Office
République de Corée
Numéro de la demande 1020097001923
Date de la demande 29.01.2009
Numéro de publication 1020090033882
Date de publication 06.04.2009
Numéro de délivrance 1014433030000
Date de délivrance 22.09.2014
Type de publication B1
CIB
B81C 1/00
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
CPROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
1Fabrication ou traitement de dispositifs ou de systèmes dans ou sur un substrat
B81B 3/00
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
G02B 26/00
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
G02F 1/01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
FDISPOSITIFS OU SYSTÈMES DONT LE FONCTIONNEMENT OPTIQUE EST MODIFIÉ PAR CHANGEMENT DES PROPRIÉTÉS OPTIQUES DU MILIEU CONSTITUANT CES DISPOSITIFS OU SYSTÈMES ET DESTINÉS À LA COMMANDE DE L'INTENSITÉ, DE LA COULEUR, DE LA PHASE, DE LA POLARISATION OU DE LA DIRECTION DE LA LUMIÈRE, p.ex. COMMUTATION, OUVERTURE DE PORTE, MODULATION OU DÉMODULATION; TECHNIQUES NÉCESSAIRES AU FONCTIONNEMENT DE CES DISPOSITIFS OU SYSTÈMES; CHANGEMENT DE FRÉQUENCE; OPTIQUE NON LINÉAIRE; ÉLÉMENTS OPTIQUES LOGIQUES; CONVERTISSEURS OPTIQUES ANALOGIQUES/NUMÉRIQUES
1Dispositifs ou systèmes pour la commande de l'intensité, de la couleur, de la phase, de la polarisation ou de la direction de la lumière arrivant d'une source lumineuse indépendante, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation; Optique non linéaire
01pour la commande de l'intensité, de la phase, de la polarisation ou de la couleur
Déposants QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC.
퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크.
Inventeurs TUNG MING HAU
텅, 밍-하우
KOGUT LIOR
코거트, 라이어
Mandataires 특허법인아주
Données relatives à la priorité 11478702 30.06.2006 US
Titre
(EN) METHOD OF MANUFACTURING MEMS DEVICES PROVIDING AIR GAP CONTROL
(KO) 공기 간극 제어를 제공하는 MEMS 장치의 제조 방법
Abrégé
(EN)
Methods and apparatus are provided for controlling a depth of a cavity between two layers of a light modulating device. A method of making a light modulating device includes providing a substrate, forming a sacrificial layer over at least a portion of the substrate, forming a reflective layer over at least a portion of the sacrificial layer, and forming one or more flexure controllers over the substrate, the flexure controllers configured so as to operably support the reflective layer and to form cavities, upon removal of the sacrificial layer, of a depth measurably different than the thickness of the sacrificial layer, wherein the depth is measured perpendicular to the substrate. ©KIPO&WIPO 2009

(KO)
광 변조 장치의 두 층 사이에서 공동부의 깊이를 제어하는 방법 및 장치가 제공된다. 광 변조 장치의 제조 방법은 기판을 제공하는 단계; 상기 기판의 적어도 일부 위에 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층의 적어도 일부 위에 반사층을 형성하는 단계; 및 상기 기판 위에 1개 이상의 굴곡 제어기를 형성하는 단계를 포함하되, 상기 굴곡 제어기는 상기 반사층을 작동적으로 지지하고, 상기 희생층의 제거 시, 해당 희생층의 두께와 다르게 측정가능한 깊이를 지닌 공동부를 형성하도록 구성되며, 상기 깊이는 상기 기판에 대해서 수직으로 계측된다.