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1. KR1020210110744 - 텐서 분해 및 특이 값 분해를 사용한 검사를 위한 시스템 및 방법

Office
République de Corée
Numéro de la demande 1020217027160
Date de la demande 24.01.2020
Numéro de publication 1020210110744
Date de publication 08.09.2021
Type de publication A
CIB
G06T 7/00
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7Analyse d'image
G06T 5/00
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
5Amélioration ou restauration d'image
CPC
G06T 7/001
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
0002Inspection of images, e.g. flaw detection
0004Industrial image inspection
001using an image reference approach
G06T 5/002
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
5Image enhancement or restoration
001Image restoration
002Denoising; Smoothing
G06T 2207/30148
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
30Subject of image; Context of image processing
30108Industrial image inspection
30148Semiconductor; IC; Wafer
Déposants 케이엘에이 코포레이션
Inventeurs 팻워리 누르모하메드
월링포드 리차드
스미스 제임스 에이.
리 샤오춘
투마코프 블라디미르
브라우어 보른
Mandataires 김태홍
김진회
Données relatives à la priorité 16744301 16.01.2020 US
62/797,581 28.01.2019 US
62/905,063 24.09.2019 US
Titre
(KO) 텐서 분해 및 특이 값 분해를 사용한 검사를 위한 시스템 및 방법
Abrégé
(KO) 샘플 특성화 시스템이 개시된다. 실시예들에서, 샘플 특성화 시스템은, 검사 서브-시스템에 통신가능하게 결합된 제어기를 포함하고, 제어기는 메모리에 저장된 프로그램 명령들의 세트를 실행하도록 구성된 하나 이상의 프로세서들을 포함하고, 프로그램 명령들의 세트는 또한, 하나 이상의 프로세서들로 하여금, 샘플의 하나 이상의 타겟 이미지 프레임들을 획득하게 하고; 하나 이상의 획득된 타겟 이미지 프레임들을 갖는 타겟 텐서(tensor)를 생성하게 하고; 하나 이상의 기준 이미지 프레임들을 포함하는 하나 이상의 기준 텐서들을 생성하기 위해 타겟 텐서에 대해 제1 세트의 하나 이상의 분해 프로세스들을 수행하게 하고; 하나 이상의 타겟 이미지 프레임들과 하나 이상의 기준 이미지 프레임들 사이의 하나 이상의 차이들을 식별하게 하고; 하나 이상의 식별된 차이들에 기초하여 샘플의 하나 이상의 특성들을 결정하도록 구성된다.