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Paramétrages

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1. KR1020010021504 - DEVICE FOR TRANSFERRING STRUCTURES

Office République de Corée
Numéro de la demande 1020007000034
Date de la demande 04.01.2000
Numéro de publication 1020010021504
Date de publication 15.03.2001
Numéro de délivrance 1003861360000
Date de délivrance 02.06.2003
Type de publication B1
CIB
G03F 1/14
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
1Originaux pour la production par voie photomécanique de surfaces texturées, p.ex. masques, photomasques ou réticules; Masques vierges ou pellicules à cet effet; Réceptacles spécialement adaptés à ces originaux; Leur préparation
14Originaux caractérisés par des détails de structure, p.ex. supports, couches de recouvrement, anneaux pelliculaires
Déposants INFINEON TECHNOLOGIES AG
추후제출인피니언 테크놀로지스 아게
Inventeurs RUF ALEXANDER
루프,알렉산더
Mandataires 남상선
Données relatives à la priorité 19728662.3 04.07.1997 DE
Titre
(EN) DEVICE FOR TRANSFERRING STRUCTURES
(KO) 구조물을 운반하는 장치
Abrégé
(EN)

The present invention relates to a device for transferring structures onto a layer to be structured. The device provided for in the invention is characterized in that it comprises a base element (3) and at least one beam-guiding structure (12) projecting from said base element (3). Said structure guides a beam to an outlet opening (8) facing away from the base element (3) and has a shape which is adapted to fit the structure to be transferred.

© KIPO & WIPO 2007

(KO)
본 발명은 패터닝될 층에 구조물을 운반하는 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 장치는 베이스 엘리먼트(3) 및 베이스 엘리먼트(3)로부터 돌출하는 적어도 하나의 방사선-도전 구조물(12)이 제공되고, 이러한 구조물은 방사선을 베이스 엘리먼트(3)로부터 반향하는 출사 개구(8)로 인도하고, 구조물의 형상은 운반될 구조물의 형상과 일치한다.

Également publié en tant que