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1. KR1020120125392 - 포텐셜 취득 장치, 자장 현미경, 검사 장치 및 포텐셜 취득 방법

Office
République de Corée
Numéro de la demande 1020127025458
Date de la demande 01.03.2011
Numéro de publication 1020120125392
Date de publication 14.11.2012
Numéro de délivrance 1013465230000
Date de délivrance 31.12.2013
Type de publication B1
CIB
G01R 33/02
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
33Dispositions ou appareils pour la mesure des grandeurs magnétiques
02Mesure de la direction ou de l'intensité de champs magnétiques ou de flux magnétiques
G01R 29/14
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
29Dispositions pour procéder aux mesures ou à l'indication de grandeurs électriques n'entrant pas dans les groupes G01R19/-G01R27/165
12Mesure du champ électrostatique
14Mesure de la distribution du champ
Déposants 고쿠리츠다이가쿠호진 고베다이가쿠
Inventeurs 키무라 켄지로
Mandataires 특허법인 원전
Données relatives à la priorité JP-P-2010-044218 01.03.2010 JP
Titre
(KO) 포텐셜 취득 장치, 자장 현미경, 검사 장치 및 포텐셜 취득 방법
Abrégé
(KO) 자장(磁場) 취득 장치에서는, 측정의 대상 영역의 폭에 비해 충분히 긴 측정부(21)가 z=α를 만족하는 측정면 상에 배치되고, 측정면 상의 소정의 기준 방향과, 측정부(21)의 길이 방향이 이루는 각도θ를 복수회로 변경하면서, 측정부(21)의 길이 방향에 수직인 X'방향에의 주사가 반복된다. 이어서, X'방향의 좌표 파라미터를 x'로 하여, 주사의 반복에 의해 취득되는 측정치 f(x', θ)를 푸리에 변환하는 것에 의해, g(k, θ)가 취득된다(다만, k는 X'방향의 파수이다.). 그리고, 소정의 2 차원 포텐셜 취득식에 g(k, θ)를 대입하는 것에 의해, 측정면에서의 2 차원 포텐셜을 나타내는 Ø(x, y, α)가 구해진다. 이것에 의해, 대상 영역의 폭에 비해 충분히 큰 측정부(21)를 이용하여, 2 차원의 포텐셜의 측정을 높은 분해능(分解能)으로 행할 수 있다. x' x' x'
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