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Paramétrages

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1. KR1020130007577 - 기판 수납 장치

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Office
République de Corée
Numéro de la demande 1020127024269
Date de la demande 21.02.2011
Numéro de publication 1020130007577
Date de publication 18.01.2013
Numéro de délivrance 1014330680000
Date de délivrance 22.08.2014
Type de publication B1
CIB
H01L 21/673
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673utilisant des supports spécialement adaptés
B65D 85/86
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
DRÉCEPTACLES POUR L'EMMAGASINAGE OU LE TRANSPORT D'OBJETS OU DE MATÉRIAUX, p.ex. SACS, TONNEAUX, BOUTEILLES, BOÎTES, BIDONS, CAISSES, BOCAUX, RÉSERVOIRS, TRÉMIES OU CONTENEURS D'EXPÉDITION; ACCESSOIRES OU FERMETURES POUR CES RÉCEPTACLES; ÉLÉMENTS D'EMBALLAGE; PAQUETS
85Réceptacles, éléments d'emballage ou paquets spécialement adaptés aux objets ou aux matériaux particuliers
86pour des éléments électriques
G03F 1/82
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
1Originaux pour la production par voie photomécanique de surfaces texturées, p.ex. masques, photomasques ou réticules; Masques vierges ou pellicules à cet effet; Réceptacles spécialement adaptés à ces originaux; Leur préparation
68Procédés de préparation non couverts par les groupes G03F1/20-G03F1/50105
82Procédés auxiliaires, p.ex. nettoyage ou inspection
Déposants 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventeurs 모리야 츠요시
Mandataires 특허법인엠에이피에스
Données relatives à la priorité 2010048380 04.03.2010 JP
Titre
(KO) 기판 수납 장치
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Abrégé
(KO) 사용 환경에 따라, 수납된 기판에 이물이 부착되는 것을 효과적으로 방지한다. 기판 수납 장치(100) 내로 외기를 취입하는 급기부(110)와, 급기부에 대향하여 배치된 배기부(120)와, 급기부와 배기부의 사이에 설치되고, 이들 사이를 연통하는 연통홀(142)을 가지는 기판 재치판(140)과, 급기부에 설치된 급기 필터(112)와, 급기부 또는 배기부에 설치된 팬(122)을 구비하고, 기판 수납 장치(100) 내의 상태를 검출하는 상태 센서와, 파티클 대전 장치와, 온조 장치 중 어느 하나 또는 2 개 이상의 조합을 장착홀(150)에 착탈 가능하게 설치했다.
Documents de brevet associés
JP2011186006
US20120325349
CN102714169
WO/2011/108215
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