(KO) 사용 환경에 따라, 수납된 기판에 이물이 부착되는 것을 효과적으로 방지한다. 기판 수납 장치(100) 내로 외기를 취입하는 급기부(110)와, 급기부에 대향하여 배치된 배기부(120)와, 급기부와 배기부의 사이에 설치되고, 이들 사이를 연통하는 연통홀(142)을 가지는 기판 재치판(140)과, 급기부에 설치된 급기 필터(112)와, 급기부 또는 배기부에 설치된 팬(122)을 구비하고, 기판 수납 장치(100) 내의 상태를 검출하는 상태 센서와, 파티클 대전 장치와, 온조 장치 중 어느 하나 또는 2 개 이상의 조합을 장착홀(150)에 착탈 가능하게 설치했다.