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1. JP2008504549 - ＭＥＭＳに関してのまたは小型封入デバイスに関しての密封試験

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Office Japon
Numéro de la demande 2007518667
Date de la demande 29.06.2005
Numéro de publication 2008504549
Date de publication 14.02.2008
Type de publication A
CIB
G01M 3/02
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
MTEST D'ÉQUILIBRAGE STATIQUE OU DYNAMIQUE DES MACHINES OU DES STRUCTURES OU DES OUVRAGES; TEST DES STRUCTURES, DES OUVRAGES OU DES APPAREILS, NON PRÉVU AILLEURS
3Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide
02par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide
B81C 5/00
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
CPROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
5Procédés ou appareils non prévus dans les groupes B81C1/ ou B81C3/110
CPC
G01M 3/002
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Investigating fluid-tightness of structures
002by using thermal means
G01M 3/3281
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Investigating fluid-tightness of structures
02by using fluid or vacuum
26by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
32for containers, e.g. radiators
3281removably mounted in a test cell
Déposants コミツサリア　ア　レネルジー　アトミーク　エ　オ　ゼネルジ　ザルタナティヴ
Inventeurs フランソワ・ドゥ・クレシー
ベルナール・ディーム
Mandataires 志賀　正武
渡邊　隆
村山　靖彦
実広　信哉
Données relatives à la priorité 0451370 30.06.2004 FR
Titre
(JA) ＭＥＭＳに関してのまたは小型封入デバイスに関しての密封試験
Abrégé
(JA)

本発明は、ＭＥＭＳまたは封入された小型デバイスに関しての密封性試験方法に関するものであって、ＭＥＭＳまたは小型デバイスは、支持体のキャビティ内に収容されている。キャビティは、シール手段によってシールされているとともに、外部媒体の圧力に対して曝された際になるであろう密度とは異なる密度でもってガスを含有している。本発明による方法においては、キャビティ内に含有されているガスの密度を測定する。
Également publié en tant que
FR2872572
EP1761752
US20070234782
WO/2006/008412
US2007234782
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