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1. FR3056015 - PROCEDE DE DOPAGE PAR L'AZOTE DE MATERIAUX SOLIDES

Office France
Numéro de la demande 1658615
Date de la demande 15.09.2016
Numéro de publication 3056015
Date de publication 16.03.2018
Numéro de délivrance 3056015
Date de délivrance 12.10.2018
Type de publication B1
CIB
H01L 21/22
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
18les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant des éléments du groupe IV de la classification périodique, ou des composés AIIIBV, avec ou sans impuretés, p.ex. des matériaux de dopage
22Diffusion des impuretés, p.ex. des matériaux de dopage, des matériaux pour électrodes, à l'intérieur ou hors du corps semi-conducteur, ou entre les régions semi-conductrices; Redistribution des impuretés, p.ex. sans introduction ou sans élimination de matériau dopant supplémentaire
C01B 32/05
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
01CHIMIE INORGANIQUE
BÉLÉMENTS NON MÉTALLIQUES; LEURS COMPOSÉS
32Carbone; Ses composés
05Préparation ou purification du carbone non couvertes par les groupes C01B32/15, C01B32/20, C01B32/25, C01B32/30187
CPC
C01B 32/152
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
32Carbon; Compounds thereof
15Nano-sized carbon materials
152Fullerenes
C01B 32/168
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
32Carbon; Compounds thereof
15Nano-sized carbon materials
158Carbon nanotubes
168After-treatment
C01B 32/194
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
32Carbon; Compounds thereof
15Nano-sized carbon materials
182Graphene
194After-treatment
C01B 32/20
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
32Carbon; Compounds thereof
20Graphite
C01B 32/156
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
32Carbon; Compounds thereof
15Nano-sized carbon materials
152Fullerenes
156After-treatment
C01B 32/21
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
32Carbon; Compounds thereof
20Graphite
21After-treatment
Déposants ECOLE POLYTECH
COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
CENTRE NAT RECH SCIENT
Inventeurs CORBEL CATHERINE MYRIAM HELENE
SHCHEDRINA IRINA
RENAULT JEAN-PHILIPPE JACQUES
Données relatives à la priorité 1658615 15.09.2016 FR
Titre
(FR) PROCEDE DE DOPAGE PAR L'AZOTE DE MATERIAUX SOLIDES
Abrégé
(FR)
L'invention concerne un procédé de dopage à l'azote d'un matériau comprenant ou constitué d'un ensemble d'atomes de carbone à l'état d'hybridation sp2, ledit procédé comprenant les étapes suivantes : a) la mise en contact dudit matériau avec du diazote b) l'irradiation du matériau et du diazote mis en contact par un faisceau d'électrons ou d'ions légers dont l'énergie est supérieure ou égale à 0,1 MeV, pour obtenir un matériau dont tout ou partie de l'ensemble d'atomes de carbone à l'état d'hybridation sp2 est dopé à l'azote ; le matériau n'étant pas oxydé préalablement à l'étape a).

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