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1. EP3982186 - DÉFLECTEUR DE LUMIÈRE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION

Office
Office européen des brevets (OEB)
Numéro de la demande 20818091
Date de la demande 20.05.2020
Numéro de publication 3982186
Date de publication 13.04.2022
Type de publication A1
CIB
G02B 26/10
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
10Systèmes de balayage
B81B 3/00
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
B81C 1/00
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
CPROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
1Fabrication ou traitement de dispositifs ou de systèmes dans ou sur un substrat
G02B 26/08
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
CPC
B81C 1/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
B81B 3/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
G02B 26/0858
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0816by means of one or more reflecting elements
0833the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
0858the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
G02B 26/105
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
10Scanning systems
105with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
H02N 2/028
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction
02producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; ; Linear motors
028along multiple or arbitrary translation directions, e.g. XYZ stages
H02N 2/22
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction
22Methods relating to manufacturing, e.g. assembling, calibration
Déposants STANLEY ELECTRIC CO LTD
Inventeurs AKIYAMA KEITA
États désignés
Données relatives à la priorité 2019106111 06.06.2019 JP
Titre
(DE) LICHTABLENKER UND HERSTELLUNGSVERFAHREN
(EN) LIGHT DEFLECTOR AND MANUFACTURING METHOD
(FR) DÉFLECTEUR DE LUMIÈRE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abrégé
(EN) Provided is a light deflector capable of suppressing cleavage of a radius part provided in a joint portion of a torsion bar 12. A light deflector 10 includes a mirror part 11, a pair of torsion bars 12, inside piezoelectric actuators 13, and a movable frame part 14. The crystal orientation in the axial direction of the torsion bars 12 is set to <100>. In the joint edge portions of the torsion bars 12 and the inside piezoelectric actuators 13, radius parts 31ab, 31bb are oriented to <110> and each formed by a curved surface recessed inward. The amount of waviness about a roughness curve derived from the curved surface is set within 600 nm.
(FR) L'invention concerne un déflecteur de lumière qui peut supprimer le clivage d'un rayon fourni au niveau d'une jonction d'une barre de torsion 12. Le déflecteur de lumière 10 comprend une section de miroir 11, une paire de barres de torsion 12, un actionneur piézoélectrique interne 13 et une section de cadre mobile 14. L'orientation cristalline dans la direction axiale de la barre de torsion 12 est <100>. Des rayons 31ab, 31bb sont formés au niveau de bords de jonction des barres de torsion 12 et de l'actionneur piézoélectrique interne 13, de façon à avoir chacun une surface incurvée qui est orientée en <110> et en retrait vers l'intérieur. L'ondulation associée à une courbe de rugosité dérivée des surfaces incurvées est définie comme étant dans les limites de 600 nm.
Documents de brevet associés