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1. (CN101663079) Method and apparatus for the recovery and re-use of process gases

Office : Chine
Numéro de la demande : 200780047239.2 Date de la demande : 13.11.2007
Numéro de publication : 101663079 Date de publication : 03.03.2010
Type de publication : A
Référence PCT: Numéro de la demande :PCTUS2007023857 ; Numéro de publication :2008060544 Cliquer pour voir les données
CIB :
B01D 53/00
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
01
PROCÉDÉS OU APPAREILS PHYSIQUES OU CHIMIQUES EN GÉNÉRAL
D
SÉPARATION
53
Séparation de gaz ou de vapeurs; Récupération de vapeurs de solvants volatils dans les gaz; Épuration chimique ou biologique des gaz résiduaires, p.ex. gaz d'échappement des moteurs à combustion, fumées, vapeurs, gaz de combustion ou aérosols
CPC :
B01D 53/40
B01D 53/75
B01D 53/77
B01D 53/86
B01D2258/0216
F25J 3/028
F25J2200/02
F25J2215/34
F25J2215/36
Y10S 55/30
Déposants : Boc Group Inc.
琳德股份有限公司
Inventeurs : Whitlock Walter H.
W·H·惠特洛克
Mandataires : bai yihua wang ying
上海专利商标事务所有限公司
上海专利商标事务所有限公司
Données relatives à la priorité : 11598928 14.11.2006 US
Titre : (EN) Method and apparatus for the recovery and re-use of process gases
(ZH) 回收和再利用工艺气体的方法和设备
Abrégé : front page image
(EN) The present invention relates to methods and systems for processing an exhaust stream containing a recyclable component mixed with other components and impurities to produce a high purity product thatcontains all of the recyclable component. One or more waste streams containing none of the recyclable component are also produced. The present invention particularly relates to the recovery of valuable recyclable components used in the manufacture of semiconductor devices.
(ZH)

本发明涉及处理排气流的方法和系统,所述排气流包含可再循环组分与其它组分和杂质的混合物,所述方法和系统产生含全部可再循环组分的高纯度产品。还产生一股或多股不含可再循环组分的废弃物流。本发明尤其涉及制造半导体器件中使用的有价值可再循环组分的回收。


Également publié sous:
KR1020090113360WO/2008/060544