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Paramétrages

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1. CN109580981 - Wind speed sensor based on flexible inductor-silicon based inductor structure

Office Chine
Numéro de la demande 201811423034.6
Date de la demande 27.11.2018
Numéro de publication 109580981
Date de publication 05.04.2019
Numéro de délivrance 109580981
Date de délivrance 31.03.2020
Type de publication B
CIB
G01P 5/08
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
PMESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
5Mesure de la vitesse des fluides, p.ex. d'un courant atmosphérique; Mesure de la vitesse de corps, p.ex. navires, aéronefs, par rapport à des fluides
08en mesurant la variation d'une variable électrique directement affectée par l'écoulement, p.ex. en utilisant un effet dynamo-électrique
CPC
G01P 5/08
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
5Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
08by measuring variation of an electric variable directly affected by the flow, e.g. by using dynamo-electric effect
Déposants SOUTHEAST UNIVERSITY
东南大学
Inventeurs YI ZHENXIANG
易真翔
WAN YU
万煜
DENG WENJUN
邓文俊
WANG LIFENG
王立峰
Mandataires 南京经纬专利商标代理有限公司 32200
Titre
(EN) Wind speed sensor based on flexible inductor-silicon based inductor structure
(ZH) 基于柔性电感-硅基电感结构的风速传感器
Abrégé
(EN)
The invention discloses a wind speed sensor based on a flexible inductor-silicon based inductor structure, relates to MEMS devices, and belongs to the technical field of measurement test. The wind speed sensor is a double-layer inductor structure composed of a flexible inductor and a silicon-based inductor. The metal layer of the flexible inductor is face-to-face with the metal layer of the silicon-based inductor, and an air cavity with sufficient mutual inductance electromotive force is left between the metal layer of the flexible inductor and the metal layer of the silicon-based inductor. Acontact block constituting a measurement port is deposited in the metal layer of the silicon-based inductor. The structure is light and the response speed is fast. The wind speed detection is realizedby a Bernoulli effect and a coil mutual inductance effect, and the heat loss of the inductor itself is small, which reduces the power of the sensor.

(ZH)
本发明公开了基于柔性电感‑硅基电感结构的风速传感器,涉及MEMS器件,属于测量测试的技术领域。该风速传感器为柔性电感和硅基电感组成的双层电感结构,所述柔性电感的金属层与硅基电感的金属层面对面且二者之间留有足够互感电动势的空气腔,硅基电感金属层中淀积有构成测定端口的接触块,结构轻便,响应速度快,利用伯努利效应及线圈互感效应实现风速检测,电感自身热损耗小,降低了传感器功率。

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