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1. (WO1998042011) PROCEDE D'ELIMINATION DE METAUX PAR U.V./HALOGENE

Pub. No.:    WO/1998/042011    International Application No.:    PCT/US1998/005142
Publication Date: 24 sept. 1998 International Filing Date: 17 mars 1998
IPC: H01L 21/306
H01L 21/3213
Applicants: FSI INTERNATIONAL, INC.
MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Inventors: LAWING, Andrew, Scott
FAYFIELD, Robert, T.
SAWIN, Herbert, H.
CHANG, Jane
Title: PROCEDE D'ELIMINATION DE METAUX PAR U.V./HALOGENE
Abstract:
L'invention concerne un système de nettoyage à sec à base de chlore conçu pour éliminer des contaminants métalliques de la surface d'un substrat. Le contaminant métallique est chloruré et réduit de façon à obtenir un chlorure métallique volatil par irradiation ultraviolette. Les paramètres de pression partielle du gaz chloré, de température, de largeur de bande des ultraviolets et/ou de la séquence d'exposition du substrat au gaz contenant du chlore et au rayonnement ultraviolet sont sélectionnés de façon à éliminer sensiblement le métal sans rendre le substrat excessivement rugueux.