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1. WO2020159805 - SYSTÈME ET PROCÉDÉ D'INSPECTION UTILISANT UNE DÉCOMPOSITION DE TENSEUR ET UNE DÉCOMPOSITION DE VALEUR SINGULIÈRE

Numéro de publication WO/2020/159805
Date de publication 06.08.2020
N° de la demande internationale PCT/US2020/014868
Date du dépôt international 24.01.2020
CIB
G06T 7/00 2006.1
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7Analyse d'image
G06T 5/00 2006.1
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
5Amélioration ou restauration d'image
CPC
G01N 21/9501
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
9501Semiconductor wafers
G06T 2207/30148
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
30Subject of image; Context of image processing
30108Industrial image inspection
30148Semiconductor; IC; Wafer
G06T 7/001
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
0002Inspection of images, e.g. flaw detection
0004Industrial image inspection
001using an image reference approach
H04N 19/126
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
19Methods or arrangements for coding, decoding, compressing or decompressing digital video signals
10using adaptive coding
102characterised by the element, parameter or selection affected or controlled by the adaptive coding
124Quantisation
126Details of normalisation or weighting functions, e.g. normalisation matrices or variable uniform quantisers
H04N 19/60
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
19Methods or arrangements for coding, decoding, compressing or decompressing digital video signals
60using transform coding
Déposants
  • KLA CORPORATION [US]/[US]
Inventeurs
  • PATWARY, Nurmohammed
  • WALLINGFORD, Richard
  • SMITH, James A.
  • LI, Xiaochun
  • TUMAKOV, Vladimir
  • BRAUER, Bjorn
Mandataires
  • MCANDREWS, Kevin
  • MORRIS, Elizabeth M.N.
Données relatives à la priorité
16/744,30116.01.2020US
62/797,58128.01.2019US
62/905,06324.09.2019US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTION USING TENSOR DECOMPOSITION AND SINGULAR VALUE DECOMPOSITION
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ D'INSPECTION UTILISANT UNE DÉCOMPOSITION DE TENSEUR ET UNE DÉCOMPOSITION DE VALEUR SINGULIÈRE
Abrégé
(EN)
A sample characterization system is disclosed. In embodiments, the sample characterization system includes a controller communicatively coupled to an inspection sub-system, the controller including one or more processors configured to execute a set of program instructions stored in memory, the set of program instructions configured to cause the one or more processors to: acquire one or more target image frames of a sample; generate a target tensor with the one or more acquired target image frames; perform a first set of one or more decomposition processes on the target tensor to form generate one or more reference tensors including one or more reference image frames; identify one or more differences between the one or more target image frames and the one or more reference image frames; and determine one or more characteristics of the sample based on the one or more identified differences.
(FR)
L'invention concerne un système de caractérisation d'échantillon. Dans des modes de réalisation, le système de caractérisation d'échantillon comprend un contrôleur couplé en communication à un sous-système d'inspection, le dispositif de commande comprenant un ou plusieurs processeurs configurés pour exécuter un ensemble d'instructions de programme stockées en mémoire, l'ensemble d'instructions de programme étant configuré pour amener lesdits processeurs : à acquérir une ou plusieurs trames d'image cibles d'un échantillon ; à générer un tenseur cible à l'aide desdites trames d'image cible acquises ; à effectuer un premier ensemble d'un ou plusieurs processus de décomposition sur le tenseur cible pour former/générer un ou plusieurs tenseurs de référence comprenant une ou plusieurs trames d'image de référence ; à identifier une ou plusieurs différences entre lesdites trames d'image cible et lesdites trames d'image de référence ; et à déterminer une ou plusieurs caractéristiques de l'échantillon sur la base desdites différences identifiées.
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