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1. WO2003019625 - PROCEDE DE TRAITEMENT THERMIQUE D'UN SUBSTRAT PRESENTANT PLUSIEURS COUCHES

DE000010140791Verfahren zur thermischen Behandlung eines mehrere Schichten aufweisenden Substrats
Appl.Date 20.08.2001
N° de demande 10140791 Déposant MATTSON THERMAL PRODUCTS GMBH Type de publication A,A1
Inclusion Criteria IC5
Priorité unique au sein de la famille.
Date de publication 13.03.2003
EP1423869METHOD FOR THERMALLY TREATING A SUBSTRATE THAT COMPRISES SEVERAL LAYERS
Appl.Date 26.07.2002
N° de demande 02764782 Déposant MATTSON THERMAL PRODUCTS GMBH Type de publication A2,B1 Langue de publication de
Inclusion Criteria IC2
Ouverture de la phase nationale d'une demande PCT.

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Date de publication 02.06.2004
US20040209483Method for thermally treating a substrate that comprises several layers
Appl.Date 26.07.2002
N° de demande 10487573 Déposant Mattson Thermal Products GmbH Type de publication A1,B2 Langue de publication en
Inclusion Criteria IC2
Ouverture de la phase nationale d'une demande PCT.

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Date de publication 21.10.2004
JP2005501409多数の層を有する支持体を熱処理する方法
Appl.Date 26.07.2002
N° de demande 2003522985 Déposant マットソン サーマル プロダクツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Type de publication A Langue de publication ja
Inclusion Criteria IC2
Ouverture de la phase nationale d'une demande PCT.

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Date de publication 13.01.2005
WO/2003/019625METHOD FOR THERMALLY TREATING A SUBSTRATE THAT COMPRISES SEVERAL LAYERS
Appl.Date 26.07.2002
N° de demande PCT/EP2002/008310 Déposant CHUNG, Hin, Yiu Type de publication A Langue de publication de
Inclusion Criteria IC1
Demande PCT à l'origine de la famille.
Date de publication 06.03.2003
KR1020040028713METHOD FOR THERMALLY TREATING A SUBSTRATE THAT COMPRISES SEVERAL LAYERS
Appl.Date 28.07.2003
N° de demande 1020037009953 Déposant MATTSON THERMAL PRODUCTS GMBH Type de publication A
Inclusion Criteria IC2
Ouverture de la phase nationale d'une demande PCT.

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Date de publication 03.04.2004