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1. CN107000432 - Piezoelectric device, liquid ejecting head, manufacturing method of piezoelectric device, and manufacturing method of liquid ejecting head

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[ ZH ]

权利要求书

1.一种压电装置的制造方法,所述压电装置包括第一基板、第二基板和热固性粘合剂,在所述第一基板中形成有压电元件以及电连接到所述压电元件的电极层,所述第二基板被布置为使得以预定的间隔面向所述压电元件,并且在所述第二基板中,形成有与所述电极层抵接并导通、并且具有弹性的凸起电极,所述热固性粘合剂在保持所述第一基板与所述第二基板之间的距离的状态下接合所述第一基板与所述第二基板,所述制造方法包括:
在所述第二基板中形成具有预定高度的所述凸起电极;
对所述热固性粘合剂进行层压,用于形成所述热固性粘合剂,所述热固性粘合剂包括光敏性且布置为包围所述压电元件的周围,并且所述热固性粘合剂距所述热固性粘合剂形成在的所述基板的表面的高度等于或小于所述凸起电极在所述第二基板上的高度;以及
对所述第一基板与所述第二基板进行接合,用于在通过将所述热固性粘合剂夹于所述第一基板与所述第二基板之间的同时加压而使所述热固性粘合剂在高度方向上收缩的状态下加热以固化所述热固性粘合剂来接合所述第一基板与所述第二基板,其中所述热固性粘合剂在相对于所述第一基板或所述第二基板的表面的高度方向上的中央部具有比在相同方向上的端部的宽度大的宽度。

2.一种液体喷射头的制造方法,包括:
利用根据权利要求1所述的制造方法来制造所述压电装置。