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1. WO2020160671 - SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE RÉALISATION DE NANOCRISTALLOGRAPHIE PAR DIFFRACTION D'ÉLECTRONS EN SÉRIE

Numéro de publication WO/2020/160671
Date de publication 13.08.2020
N° de la demande internationale PCT/CA2020/050154
Date du dépôt international 06.02.2020
CIB
G01N 23/20058 2018.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
23Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de rayonnement (ondes ou particules), p.ex. rayons X ou neutrons, non couvertes par les groupes G01N3/-G01N17/201
20en utilisant la diffraction de la radiation par les matériaux, p.ex. pour rechercher la structure cristalline; en utilisant la diffusion de la radiation par les matériaux, p.ex. pour rechercher les matériaux non cristallins; en utilisant la réflexion de la radiation par les matériaux
20058en mesurant la diffraction des électrons, p.ex.la diffraction d’électrons lents ou la diffraction d’électrons de haute énergie en incidence rasante
CPC
G01N 23/20058
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
20by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
20058Measuring diffraction of electrons, e.g. low energy electron diffraction [LEED] method or reflection high energy electron diffraction [RHEED] method
Déposants
  • MILLER, R. J. Dwayne [CA]/[CA]
  • BÜCKER, Robert [DE]/[DE]
  • KASSIER, Günther [DE]/[DE]
Inventeurs
  • MILLER, R. J. Dwayne
  • BÜCKER, Robert
  • KASSIER, Günther
Mandataires
  • HILL & SCHUMACHER
Données relatives à la priorité
62/802,30107.02.2019US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SYSTEMS AND METHODS FOR PERFORMING SERIAL ELECTRON DIFFRACTION NANOCRYSTALLOGRAPHY
(FR) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE RÉALISATION DE NANOCRISTALLOGRAPHIE PAR DIFFRACTION D'ÉLECTRONS EN SÉRIE
Abrégé
(EN) Systems and methods are provided for serial, high-throughput acquisition of electron diffraction patterns from nanocrystals. Nanocrystals dispersed on a TEM grid are automatically identified from an overview image that is obtained, for example, using a dark field detector in scanning mode. Diffraction patterns are subsequently obtained from a plurality of crystals identified in the overview image by sequentially moving (e.g. scanning) the electron nanobeam relative to the crystals and collecting diffraction images using a fast electron camera. In some example embodiments, this sequence may be repeated for different tilt angles, where registration among overview images obtained at the different tilt angles is employed to position the electron nanobeam for the different tilt angles (e.g. before the sample stage is moved to interrogate a different sample region). The present methods may be automated, thereby facilitating unsupervised acquisition of arbitrarily large data sets.
(FR) L'invention concerne des systèmes et des procédés pour l'acquisition en série à haut débit de motifs de diffraction d'électrons à partir de nanocristaux. Des nanocristaux dispersés sur une grille de microscope électronique à transmission, TEM, sont automatiquement identifiés à partir d'une image globale qui est obtenue, par exemple, à l'aide d'un détecteur de champ sombre en mode balayage. Des motifs de diffraction sont par la suite obtenus à partir d'une pluralité de cristaux identifiés dans l'image globale par le déplacement séquentiel (par ex. balayage) du nanofaisceau électronique par rapport aux cristaux et la collecte d'images de diffraction à l'aide d'une caméra électronique rapide. Dans certains modes de réalisation à titre d'exemple, cette séquence peut être répétée pour différents angles d'inclinaison, où un enregistrement parmi des images globales obtenues aux différents angles d'inclinaison est employé pour positionner le nanofaisceau électronique pour les différents angles d'inclinaison (par ex. avant que la platine d'échantillon soit déplacée pour interroger une région d'échantillon différente). Les présents procédés peuvent être automatisés, ce qui facilite l'acquisition non surpervisée d'ensembles de données arbitrairement grands.
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