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1. CN107893255 - SURFACE TREATMENT SYSTEM AND WORKPIECE HOLDING TOOL

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表面处理装置及工件保持夹具


本申请为申请号为201210220405.7的在先申请及申请号为201510065136.5的在先申请(申请日均为2012年06月29日,发明名称均为“表面处理装置及工件保持夹具”)的分案申请。
技术领域
本发明涉及连续电镀装置等表面处理装置及工件保持夹具。
背景技术
作为表面处理装置、例如将工件表面电镀处理的电解电镀处理装置,已知有在电镀槽内将电路基板等工件连续输送的连续电镀处理装置。工件由被沿着供电轨道输送的输送夹具垂下保持,一边被从供电轨道经由输送夹具供电一边在电镀槽内被连续输送。在电镀槽中,在作为阴极的工件的输送路径的两侧配置阳极,在阴极-阳极间形成电场,将电镀液电分解,将工件表面电镀。
这里,已知有代替在电镀槽的上方配置供电轨道的构造(专利文献1)而在从电镀槽的上方离开的位置上与电镀槽的长度方向平行地延伸设置供电轨道的构造(专利文献2)。这样,在能够防止当输送夹具在供电轨道上滑动时产生的粉尘落下混入到电镀槽内这一点上较好。
在连续电镀装置等表面处理装置中,用工件保持夹具将工件垂下保持,在表面处理槽内的液体中将工件连续输送。工件保持夹具例如如专利文献3所示,一般是将工件的上端夹紧而将工件垂下保持。
此外,工件保持夹具的另一功能在于相对于配置在表面处理槽内的阳极(正极)将工件设定为阴极(负极)。在阴极-阳极间形成电场,将电镀液电分解,将工件表面电镀。为此,将工件的上端夹紧的卡盘部件由导电性部件形成,经由工件保持夹具将工件设定为阴极。
专利文献1:特许第3025254号公报
专利文献2:特许第3591721号公报
专利文献3:特开2009-132956号公报
如果如专利文献2那样将供电轨道配置到从电镀槽的上方离开的位置上,则与如专利文献1那样将输送夹具及工件垂下稳定支承在供电轨道的正下方的形态不同。由此,输送夹具及工件的重心从通过供电轨道的垂线上离开,所以在输送夹具上作用不需要的力矩。
由此,专利文献2中公开的输送夹具为了抑制因不需要的力矩带来的危害,成为比专利文献1中公开的夹具复杂的构造。例如在专利文献2中,在供电轨道的侧面上,设置用来防止输送夹具的脱落的脱开防止轨道,供电轨道的构造也复杂化。
当保持在输送夹具上的工件在液体中行进时,如果在俯视中工件的姿势倾斜以相对于输送方向交叉,则有可能受到液体的阻力而工件弯曲、损害商品价值。此外,当保持在输送夹具上的工件在液体中行进时,如果输送夹具上下运动,则供电轨道与输送夹具的电气接触成为不良,电镀品质也有可能劣化。为了防止这样的状况,使输送夹具的行进稳定化的构造复杂化。
此外,如专利文献3那样,判明仅通过在工件的上端确保通电路线,在确保工件的表面处理的面内均匀性方面存在极限。
发明内容
本发明的一些形态提供一种将沿着配置在从表面处理槽的上方离开的位置上的轨道输送的输送夹具的构造改良、能够很稳定地支承输送夹具的表面处理装置。
本发明的另一些发明提供一种即使是很薄的工件、也能够不因液压等使工件损坏而进行输送的工件保持夹具。
本发明的再另一些形态提供一种与导轨另外地设置供电轨道、能够使被供电轨道供电的被供电部与输送夹具的输送状态独立地总是以适度的接触压力与供电轨道接触的表面处理装置。
本发明的再另一些形态的目的是提供一种能够实现使工件的电流分布的面内均匀性提高、进一步提高工件的表面处理品质的改善的工件保持夹具及表面处理装置。
(1)本发明的一形态,关于一种表面处理装置,具有:表面处理槽,收容处理液,具有上端开口;第1、第2导轨,在从上述表面处理槽的上述上端开口的上方离开的位置处,沿着与上述表面处理槽的长度方向平行的第1方向延伸设置;多个输送夹具,配置在上述表面处理槽的上述处理液中,分别保持工件,支承在上述第1、第2导轨上;上述多个输送夹具分别具有:水平臂部,沿着与上述第1方向交叉的第2方向延伸;第1被导引部,支承在上述水平臂部的一端侧,被上述第1导轨导引;第2被导引部,支承在上述水平臂部的另一端侧,被上述第2导轨导引;垂直臂部,在上述第1被导引部与上述第2被导引部之间的位置处从上述水平臂部垂下,保持上述工件。
这样,多个输送夹具分别具有夹着保持工件的垂直臂部而将第2方向的两端侧的第1、第2被导引部支承在第1、第2导轨上的双支承构造。因而,在本实施方式中,与专利文献2那样的悬臂支承构造相比,能够抑制不需要的力矩的发生、抑制上下运动而稳定地将工件水平输送。并且,由于作为滑动部的第1、第2导轨及第1、第2被导引部处于从表面处理槽的上端开口的上方离开的位置,所以也不会有粉尘等下落到表面处理槽内而将电镀液污染的情况。
(2)本发明的另一形态,关于一种表面处理装置,具有:表面处理槽,收容处理液,具有上端开口;第1、第2导轨,在从上述表面处理槽的上述上端开口的上方离开的位置处,沿着与上述表面处理槽的长度方向平行的第1方向延伸设置;供电轨道,在从上述表面处理槽的上述上端开口的上方离开的位置、上述第1、第2导轨之间,沿着上述第1方向延伸设置;多个输送夹具,配置在上述表面处理槽的上述处理液中,分别保持工件,支承在上述第1、第2导轨上,并且接触在上述供电轨道上而被供电;上述多个输送夹具分别具有:水平臂部,沿着与上述第1方向交叉的第2方向延伸;第1被导引部,支承在上述水平臂部的一端侧,被上述第1导轨导引;第2被导引部,支承在上述水平臂部的另一端侧,被上述第2导轨导引;垂直臂部,在上述第1被导引部与上述第2被导引部之间的位置处从上述水平臂部垂下,保持上述工件;被供电部,在上述第1被导引部与上述垂直臂部之间的位置处支承在上述水平臂上,接触在上述供电轨道上。
在本发明的另一形态中,对第1、第2导轨追加而具有供电轨道,输送夹具还具有与供电轨道接触的被供电部。供电轨道配置在从表面处理槽的上述上端开口的上方离开的位置、第1、第2导轨之间,所以输送夹具的被供电部设在第1被导引部与上述垂直臂部之间的位置上。因此,从垂直臂部到第1被导引部的距离变得比从垂直臂部到第2被导引部的距离长。如果不存在第2被导引部,则从第1被导引部到垂直臂部的腕的长度变长,作用在输送夹具上的不需要的力矩变大。在本发明的另一形态中,也与本发明的一形态同样,具有支承在第1、第2导轨上的双支承构造,所以在输送夹具上不会作用不需要的力矩。
(3)本发明的再另一形态,关于一种工件保持夹具,是将薄板状的矩形工件在处理槽内的液体中保持的工件保持夹具,具有:多个第1卡盘部件,把持上述矩形工件的第一边;多个第2卡盘部件,把持上述矩形工件的与上述第一边在第1方向上对置的第2边;框状部件,包围上述矩形工件而配置,支承上述多个第1卡盘部件及上述多个第2卡盘部件;上述框状部件具有:第1导引部,将上述多个第1卡盘部件在上述第1方向上可动地移动导引;第1施力部件,将上述多个第1卡盘部件向相对于上述多个第2卡盘部件沿着上述第1方向远离的一方向移动施力。
根据本发明的工件保持夹具,分别把持矩形工件的对置两边的多个第1、第2卡盘部件中的至少多个第1卡盘部件在第1方向上可动。由此,即使矩形工件的厚度较薄,也能够总是对矩形工件施加张紧而保持平面。因此,能够对矩形工件的两面以均匀膜厚进行表面处理。此外,在表面处理时、矩形工件被向处理液多次取出放入时,工件也不会挠曲而保持平面,所以不会有液压作用在挠曲部上的情况。由此,能够防止工件因液压而从卡盘脱落、或者工件损坏。
(4)本发明再另一形态,关于一种表面处理装置,具有:表面处理槽,收容处理液,具有上端开口;导轨及供电轨道,在从上述表面处理槽的上述上端开口的上方离开的位置处,沿着与上述表面处理槽的长度方向平行的第1方向延伸设置;多个输送夹具,配置在上述表面处理槽的上述处理液中,分别保持工件,支承在上述导轨上,并且接触在上述供电轨道上而被供电;上述多个夹具分别具有:水平臂部,沿着与上述第1方向交叉的第2方向延伸;被导引部,支承在上述水平臂部的一端侧,被上述导轨导引;被供电部,在上述被导引部与上述垂直臂部之间的位置处被上述水平臂支承,接触在上述供电轨道上;上述被供电部具有:接触部,接触在上述供电轨道上;平行连杆机构,将上述水平臂部与上述接触部连结;施力部件,将上述平行连杆机构旋转施力,对上述接触部施加接触压力。
根据本发明的另一形态,与导轨另外地设置供电轨道,能够使向供电轨道供电的被供电部与输送夹具的输送状态独立地总是以适度的接触压力与供电轨道接触。
(5)本发明的再另一形态,关于一种工件保持夹具,是将薄板状的矩形工件在处理槽内的液体中以垂直状态保持、并且将上述工件设定为阴极的工件保持夹具,具有:框状部件,包围上述矩形工件而配置;导电性的多个第1卡盘部件,支承在上述框状部件上,把持上述矩形工件的上边;导电性的多个第2卡盘部件,与上述多个第1卡盘电绝缘,支承在上述框状部件上,把持上述矩形工件的下边;第1通电部,对上述多个第1卡盘部件通电;第2通电部,对上述多个第2卡盘部件通电。
根据本发明的再另一形态,特别在将很薄的工件作为表面处理对象的情况下,为了消除因液压不能保持工件的垂下状态的问题,将工件的上下夹紧,能够保持工件的姿势。这里,在使框状部件及第1、第2卡盘部件导通的情况下,向支承着第2卡盘部件的下框部件的通电路线的电阻值必然比向支承着第1卡盘部件的上框部件的通电路线的电阻值大。在如以往那样通过保持夹具仅将工件的上端夹紧的情况下,通电路线仅限定于上框部件。因而,从阳极经由液体中向工件及框状部件流动的电流(或者与其反向的电子的流动)越靠被工件保持夹具夹紧的工件的上端侧越容易流动,工件内的电流分布在工件面内变得不均匀。工件的电流分布的面内均匀性给工件的表面处理品质带来影响。在本发明的一形态中,多个第1卡盘部件与多个第2卡盘部件被电绝缘,并且向第1、第2卡盘部件的通电也被分离为第1、第2通电部。由此,从第1通电部向第1卡盘部件的第1通电路线、和从第2通电部向第2卡盘部件的第2通电路线能够独立地设定例如电阻值或电流值,由此,能够实现使工件的电流分布的面内均匀性提高、进一步提高工件的表面处理品质的改善。
(6)在本发明的形态(5)中,可以是,上述框状部件包括:导电性的上框部件,支承上述多个第1卡盘部件;导电性的下框部件,支承上述多个第2卡盘部件;两个绝缘部件,设在上述上框部件的两端部上;导电性的两个纵框部件,上端部支承在上述两个绝缘部件上,下端部连结在上述下框部件的两端部上;上述第1通电部对上述上框部件通电;上述第2通电部对上述两个纵框部件通电。
在此情况下,第1通电部经由上框部件对第1卡盘部件通电,第2通电部经由两个纵框部件及下框部件对第2卡盘部件通电。上框部件和两个纵框部件由于被两个绝缘部件电绝缘,所以能够独立地设定各通电路线的电阻值或电流值。
(7)在本发明的形态(6)中,可以是,还具有经由上述第1通电部的一部分支承上述框状部件、向上述第1及第2通电部通电的共通通电部。
这样,能够将设在作为工件保持夹具具有的两个功能部的输送部和工件保持部中的输送部侧的导电性部件兼用作共通通电部、并且将共通通电部兼用作框状部件的支承部,能够削减零件件数。
(8)在本发明的形态(7)中,可以是,上述第1通电部具有:绝缘部,固定在上述共通通电部上;导电性的连结部,将上述绝缘部与上述上框部件连结;至少一个上框通电电缆,将上述共通通电部与上述连结部连接;上述第2通电部具有将上述共通通电部与上述两个纵框部件连接的第1及第2纵框通电电缆。
这样,通过第1通电部的一部分具有固定在共通通电部上的绝缘部、和将绝缘部与上框部件连结的导电性的连结部,能够与通电部一起兼用作框状部件的支承部,能够削减零件件数。并且,从共通通电部的分离通电路线能够通过一个上框通电电缆和第1、第2纵框通电电缆确保。
(9)在本发明的形态(8)中,可以是,上述连结部包括:第1垂直臂部及第2垂直臂部,将上述绝缘部与上述上框部件连结;第1突出部,比上述第1垂直臂部突出;第2突出部,比上述第2垂直臂部突出;上述至少一个上框通电电缆包括将上述共通通电部与上述第1突出部连接的第1上框通电电缆、和将上述共通通电部与上述第2突出部连接的第2上框通电电缆。
这样,通过在具有连结功能的第1垂直臂部及第2垂直臂部以外设置第1、第2突出部,能够使第1、第2突出部作为使第1通电部的通电路线变长的冗余部发挥功能、或与第1、第2垂直臂材质变更。其理由是,作为第2通电部的第1、第2纵框通电电缆的一个和两个纵框部件的一个成为共通通电部与下框部件之间的通电路线,但纵框部件比较长,为了轻量化而需要减小截面积,电阻值比较大。为了与纵框部件的比较大的电阻值取得平衡,通过第1、第2垂直臂部的一个和第1、第2突出部的一个,能够对第1通电部侧也赋予比较大的电阻值。如果取得两者的平衡,则第1、第2上框通电电缆和第1、第2纵框通电电缆能够使用导电部的长度和截面积相等的相同的电缆,能够减少安装错误。
(10)在本发明的形态(7)~(9)中,可以是,将从上述共通通电部向上述上框部件流动的电流路径的电阻值、与从上述共通通电部向上述下框部件流动的电流路径的电阻值设定为实质上相同。
由此,工件内的电流分布的面内均匀性提高,能够进一步改善表面处理品质。
(11)在本发明的形态(6)~(10)中,可以是,上述两个绝缘部件分别具有将上述两个纵框部件的各一个上端部在垂直方向上滑动导引的导引部。这样,两个纵框部件、下框部件及多个第2卡盘部件的自重作用在上端部被多个第1卡盘部件支承的工件的下端上,通过张紧的施加能够将工件保持为垂直状态。由此,即使表面处理槽的液压作用在工件上,也能够防止工件的变形。
(12)在本发明的形态(11)中,可以是,还具有将被上述导引部滑动导引的上述两个纵框部件的各一个向下方移动施力的施力部件。这样,在上端部被多个第1卡盘部件支承的工件的下端上,除了上述自重以外还作用施力部件带来的作用力,通过进一步的张紧的施加,能够将工件保持为垂直状态。
(13)在本发明的形态(12)中,可以是,上述施力部件的下端固定在被上述导引部滑动导引的上述两个纵框部件的各一个上;上述施力部件的上端固定在支承于上述两个绝缘部件的各一个上的导电性的固定部件上;上述第1、第2纵框通电电缆的各一个连接在上述固定部件上。这样,第1、第2纵框通电电缆能够经由固定部件、施力部件对纵框部件通电。或者也可以将第1、第2纵框通电电缆直接连接在纵框部件上。
(14)本发明的再另一形态,关于一种表面处理装置,具有:表面处理槽,收容处理液,具有上端开口;上述(5)~(13)的任一项所述的工件保持夹具,将浸渍在上述表面处理槽的上述处理液中的工件垂下保持,并且将上述工件设定为阴极;阳极电极,在上述表面处理槽内配置在与上述工件对置的位置上。
(15)本发明的再另一形态,关于一种表面处理装置,具有:表面处理槽,收容处理液,具有上端开口;工件保持夹具,将浸渍在上述表面处理槽的上述处理液中的工件垂下保持,并且将上述工件设定为阴极;阳极电极,在上述表面处理槽内在垂直方向上延伸,配置在与上述工件对置的位置上;中继通电部,在比上述表面处理槽内的上述处理液的液面低的位置处,对上述阳极电极通电。
在本发明的另一形态中,当来自中继通电部的电流从阳极电极经由表面处理槽内的处理液朝向作为阴极(负极)的工件流动时,从与中继通电部的连接高度位置在阳极电极上向上方和下方分支流动。这样,相对于工件流动的电流被改善了其垂直方向上的电流分布的不均匀性。
(16)在本发明的形态(15)中,可以是,上述工件保持夹具具有:框状部件,包围上述矩形工件而配置;导电性的多个第1卡盘部件,支承在上述框状部件上,把持上述矩形工件的上边;导电性的多个第2卡盘部件,与上述多个第1卡盘电绝缘而支承在上述框状部件上,把持上述矩形工件的下边;第1通电部,对上述多个第1卡盘部件通电;第2通电部,对上述多个第2卡盘部件通电。
这样,能够将上述(5)及(14)带来的作用效果组合,实现使工件的电流分布的面内均匀性提高、进一步提高工件的表面处理品质的改善。
附图说明
图1是有关本发明的实施方式的表面处理装置的纵剖视图。
图2是图1的部分放大图。
图3是输送夹具的立体图。
图4是表示两个导轨和输送夹具的图。
图5是输送夹具的俯视图。
图6是输送夹具的主视图。
图7是表示向阳极的电流控制系统的图。
图8(A)、图8(B)是表示工件运出时的电流逐渐降低控制和工件运入时的电流逐渐增加控制的图。
图9是工件保持夹具的框状部件的部分放大图。
图10是表示将可动板推下而保持工件的状态的图。
图11是表示通过第1卡盘支承工件并施加张紧的状态的图。
图12是表示被供电部的详细情况的图。
图13是表示有关本发明的另一实施方式的工件保持夹具的通电部及工件保持部的主视图。
图14是图13所示的工件保持夹具的侧视图。
图15是表示将纵框部件移动导引的绝缘部件和将纵框部件移动施力的施力部件的图。
图16是表示配置在图1的处理槽中的阳极电极部的示意图。
图17是示意地表示图13所示的工件保持夹具的通电部及工件保持部的图。
图18是表示将工件内的电流分布示意地测量的方法的图。
图19是表示工件及阳极电极的通电点的图。
图20(A)及图20(B)是表示保持在图6和图13的工件保持夹具上的工件内的电流分布的图。
具体实施方式
以下,对本发明的优选的实施方式详细地说明。另外,以下说明的本实施方式不是将权利要求书所记载的本发明的内容不合理地限定的,并不限于在本实施方式中说明的结构的全部都作为本发明的解决手段是必须的。
1. 表面处理装置的概要
图1是表面处理装置例如连续电镀处理装置的纵剖视图。连续电镀处理装置10将分别保持电路基板等工件20的多个输送夹具30A沿与图1的纸面垂直的方向循环输送。在图1中,表示循环输送路径100中的平行的两个直线输送路径110、120。这两个直线输送路径110、120在两端上被连结而形成环状的循环输送路径100。
在循环输送路径100中,设有将分别保持在多个输送夹具30A上的工件20进行表面处理例如电镀处理的电镀槽(广义地讲是表面处理槽)200、设在比电镀槽200靠循环输送路径100的上游、将未处理的工件20向多个输送夹具30A运入的运入部(未图示)、和设在比电镀槽200靠循环输送路径100的下游、将已处理的工件20从多个输送夹具30A运出的运出部(未图示)。
在本实施方式中,电镀槽200沿着第2直线输送路径120设置,运入部及运出部设在第1直线输送路径110中。在循环输送路径100中,还具有配置在电镀槽200的上游侧的前处理槽群230、和配置在电镀槽200的下游侧的后处理槽群(未图示)。
前处理槽群230通过在运入部与电镀槽200之间从上游侧起依次配置例如脱脂槽、热水洗槽、水洗槽、喷淋槽及酸洗槽等而构成。后处理槽通过在电镀槽200与运出部之间从上游侧起依次配置例如喷淋槽及水洗槽而构成。另外,前处理槽群230及后处理槽群的数量及种类能够适当变更。
2. 输送夹具和两个导轨
如图1所示,连续电镀处理装置10具有收容电镀液(广义地讲是处理液)、具有上端开口201的电镀槽(广义地讲是表面处理槽)200。连续电镀处理装置10还如将图1的一部分放大表示的图2所示,具有在从电镀槽200的上端开口201的上方离开的位置处沿着与电镀槽200的长度方向平行的第1方向(与纸面垂直的方向)延伸设置的第1导轨130及第2导轨140。多个输送夹具30A配置在电镀槽200的处理液中而将工件20分别保持,支承在第1、第2导轨130、140上。
多个夹具30A分别如图3~图5所示,具有水平臂部300、第1被导引部310、第2被导引部320、和垂直臂部330。水平臂部300如图3及图5所示,具有沿着与第1方向(输送方向)A正交(广义地讲是交叉)的第2方向B延伸的例如两条第1、第2水平臂300A、300B。第1被导引部310如图4所示,支承在水平臂部300一端侧,被第1导轨130导引。第2被导引部320如图4所示,支承在水平臂部300的另一端侧,被第2导轨140导引。垂直臂部330如图3及图6所示,在第1被导引部310与第2被导引部320之间的位置上,具有从固定在水平臂部300上的支承板331垂下的保持工件20的例如两根第1、第2水平臂300A、300B。
这样,多个夹具30A分别具有夹着保持工件20的垂直臂部330将第2方向B的两端侧的第1、第2被导引部310、320支承在第1、第2导轨130、140上的双支承梁的形态。因而,在本实施方式中,与如专利文献2(特许第3591721号)那样悬臂梁的形态相比,能够在输送夹具30A的输送整个过程中抑制上下运动而稳定地将工件20保持输送。并且,由于作为滑动部的第1、第2导轨130、140及第1、第2被导引部310、320处于从电镀槽200的上端开口201的上方离开的位置上,所以不会有粉尘等落下到电镀槽200内而将电镀液污染的情况。
3. 输送夹具、两个导轨和供电轨道
在电镀处理装置10中,将工件20作为负极(阴极),电镀槽200在夹着工件20的输送路径的两侧设置收容正极(阳极:例如铜类正极球)410L、410R的圆筒网背板(收容部)202、203,在负极-正极间形成电场而将电镀液电分解,将工件20电场电镀。为此,需要向输送中的工件20通电。为了向工件20供电,例如可以将第1、第2导轨130、140的至少一方作为供电轨道。在此情况下,只要将构成输送夹具30A的部件中的、从第1、第2导轨130、140向工件20供电的路径的材料用导电体形成就可以。
在本实施方式中,如图1及图2所示,电镀处理装置10与第1、第2导轨130、140另外地设有供电轨道210。特别是,本实施方式的供电轨道210为了实施特开2009-132999中公开的电流控制方法,如图2所示,具有相互绝缘的多个例如4条分割供电轨道210A~210D。多个输送夹具30A分别具有与4条分割供电轨道210A~210D的某一个接触而被供电的被供电部340(图2~图5)。被供电部340配置在第1被导引部310与垂直臂部330之间的位置上。
这样,多个夹具30A分别具有夹着被供电部340、第2方向B的两端侧的第1、第2被导引部310、320支承在第1、第2导轨130、140上的双支承的形态。因而,在输送夹具30A的输送整个过程中,能够抑制被供电部340的上下运动而稳定地维持与供电轨道210的接触。
4. 使用分割供电轨道的电流控制方法
以下,参照图7及图8(A)、图8(B)对在特开2009-132999中公开的电流控制方法进行说明。另外,图1所示的电镀槽200沿着垂直于纸面的输送方向具有例如十几米以上(包括该值)的长度。图7所示的电镀槽单元200A表示单位单元,通过将多个电镀槽单元200A连接,构成图1的电镀槽200。
电源单元400A~400D经由对应的分割供电轨道210A~210D向输送中的各工件20供电。电源单元400A~400D能够向具有一面Fl及另一面Fr的各工件20通过设定电流值(A/dm2)下的恒流控制进行供电。进而电源单元400A~400D在向电镀槽单元200A内运入工件20时将电流渐增控制,并且在将工件20运出时将电流渐减控制。
在图7中,在电镀槽单元200A中,能够将N片(例如3片)工件20(20A~20C或20B~20D)以输送夹具30A(30A1~30A4)同时全面浸渍状态沿输送方向A输送。所谓全面浸渍状态,是指至少工件20的电镀处理对象面(图10所示的一面Fl及另一面Fr)的全部浸渍在图1及图2所示的一个电镀槽单元200A的电镀液Q中的状态。因而,在从电镀槽单元200A的出口200B侧开始将工件20A运出、并且向入口200F侧开始运入工件20D的状态下,在电镀槽单元200A内浸渍数量为(N+l)即4片工件20(20A~20D)。
在此状态下,在工件20B~20C为全面浸渍状态下,工件20A及20D是部分浸渍状态。所谓部分浸渍状态,是指至少工件20A、20D的电镀处理对象面(图10所示的一面Fl+另一面Fr)的长度方向的一部分浸渍在一个电镀槽单元200A的电镀液Q中的状态。从一个电镀槽单元200A露出的部分被配置到相邻的其他电镀槽单元200A内或其他处理槽中。
这里,在同时能够在全面浸渍状态下在电镀槽单元200A内输送的工件20的片数是N(例如,N=3片)的情况下,分割供电轨道210及电源单元400的数量是(N+1)[=4]。
在电镀槽单元200A内(电镀液Q中),如图7所示,对置配设有沿第1方向A延伸的左右1对阳极电极(铜类正极球)410L、410R。两阳极电极410L、410R对于保持在各输送夹具30A(30A1~30A4)上的各工件20(20A~20D)是共通的,各阳极电极410L、410R与输送中的各工件20的间隔(极间距离)被维持为一定(规定值)。
各电源单元400A~400D能够按照保持在输送夹具30A上的工件20(按照电源单元400)设定变更电流值,并且能够进行设定电流值Is(A/dm2)下的恒流控制。
即,各电源单元400A~400D构成为,在将工件20在电镀槽单元200A内以全面浸渍状态输送的期间中进行恒流控制,而在将工件20A以部分浸渍状态向电镀槽单元200A内运入的期间中进行电流渐增控制,在将工件20D以部分浸渍状态运出的期间中进行电流渐减控制。是部分浸渍在相邻的两个电镀槽单元200A的各自中的状态的工件20在下游侧的电镀槽单元200A受到电流渐减控制,在上游侧的电镀槽单元200A中受到电流渐增控制。
即,在图8(A)中,在工件20为部分浸渍运入期间T12(=t1~t2)中,到到达设定电流值Is为止,与时间长(处理面积)成比例将电流(Iin)渐增控制。在全面浸渍时(t2)切换为设定电流值Is的恒流控制。在工件20为部分浸渍运出期间T34(=t3~t4)中,如图8(B)所示,从设定电流值Is的恒流控制切换为渐减控制。将电流(Idg)与时间长(处理面积)成反比例渐减控制。
根据该实施方式,由于能够以按照工件20设定的电流值进行连续电镀处理,所以能够在各工件20上以对应于该工件设定电流值的没有不匀的膜厚形成均匀且高品质的电镀被膜。
5. 输送夹具的详细的说明
5.1. 被供电部
在分别设于在本实施方式中使用的多个输送夹具30A上的被供电部340与N个分割供电轨道210A~210D的一个接触。图7所示的多个输送夹具30A包括相对于水平臂部300在第2方向B上位置不同的N个部位的各一个上安装有被供电部340的第1~第N输送夹具30A1~30A4。第1~第N输送夹具30A1~30A4的各一个与N个分割供电轨道210A~210D的各一个接触。
在本实施方式中,采用使输送夹具30A的零件共通化、与多个分割供电轨道210A~210D的任意一个接触的构造。为此,多个输送夹具30A(第1~第N输送夹具30A1~30A4)分别如图3所示,具有支承被供电部340的支承部、例如支承板350。支承板350具有在第2方向B上设在不同的位置上的N(N=4)个安装部(例如螺孔)。
多个输送夹具30A(图7所示的第1~第N输送夹具30A1~30A4)的各自的被供电部340分别包括与供电轨道210(分割供电轨道210A~210D)接触的接触部341。接触部341例如通过蝶形螺纹件拆装自如地安装在N个安装部的一个上。通过这样将接触部341安装到从N个安装部中选择的一个上,能够在使零件共通化的同时、准备第1~第N输送夹具30A1~30A4。
图12表示被供电部340的详细情况。被供电部340具有将支承板350与接触部341通过例如两条平行连杆342A、342B连结的四节旋转链的平行连杆机构342。两条连杆342A、342B总是被作为施力部件的扭转螺旋弹簧343、343向顺时针方向移动施力。结果,能够使接触部341以适度的接触压力接触在供电轨道210上。
此外,两条平行连杆342A、342B倾斜,以使其上侧支点先行、下侧支点后行。换言之,两条连杆342A、342B的长度方向与输送方向A交叉的角度为锐角。结果,接触部341以被输送夹具30A拉伸的形态行进,所以行进稳定。以往,不使用平行连杆机构342,例如将被两条垂直轴在垂直方向上移动导引的接触部341通过两个弹簧向垂直下方移动施力。这样,如果由两个弹簧带来的推压力不平衡,则接触部341倾斜。由此,接触部341的角部与供电轨道210接触,有接触部341异常磨损的缺点。在本实施方式中,通过平行连杆机构342,接触部341被水平地配置,与供电轨道210接触。由此,能够防止接触部341倾斜而接触部341的角部与供电轨道210接触的情况。因此,能够防止接触部341的异常磨损及接触不良、使作为消耗品的接触部341的寿命变长。
另外,图12所示的被供电部340的结构能够在与导轨130、140另外地具有供电轨道210的表面处理装置中应用,导轨及供电轨道也可以是各1条。如果如以往那样兼用作导轨和供电轨道,则过度的压力作用在被供电部上,所以磨损剧烈,被供电部的产品寿命变短。在本实施方式中,能够与输送夹具30A的行进独立地使被供电部340对供电轨道210以适度的接触压力接触。结果,即使将被供电部340用黄铜等形成,也能够延长寿命。
5.2. 第1、第2被导引部
导引第1被导引部310的第1导轨130在纵截面中包括上表面、第1侧面、和与第1侧面对置的第2侧面,例如形成为矩形。
被第1导轨130导引的第1被导引部310可以包括与第1导轨130的上表面滚动接触的第1辊311、与第1导轨130的第1侧面滚动接触的第2辊312、和与第1导轨130的第2侧面滚动接触的第3辊313而构成。此外、第2被导引部320可以包括与第2导轨140的上表面滚动接触的第4辊321。通过第1、第4辊311、321在输送夹具30A的第2方向B的两端侧与第1、第2导轨130、140的各上表面接触,能够使输送夹具30A以水平状态稳定地行进。此外,通过第2、第3辊312、313夹着第1导轨130的两侧面,能够抑制输送夹具30A在第2方向B上位置偏差。
5.3 连续输送驱动部
图2所示的连续输送驱动部150在将输送夹具30A的第1直线输送路径120(图1)分割为多个区间的每个中设有一个。该连续输送驱动部150具备具有沿着固定导引板151移动的线性导引部152A、152B的推进器153A、153B。两个推进器153A、153B在未图示的马达作用下分别独立地移动。通过这两个推进器153A、153B,将输送夹具30A在一个区间中连续直线驱动。两个推进器153A、153B在一个区间内分别具有固有的驱动区域、和共通的驱动区域。首先,推进器153在上游侧的固有驱动区域将输送夹具30A推动。接着,在共通的驱动区域中将输送夹具30A连续输送时,从推进器153A交接给推进器153B。推进器153A在遍及固有及共通的驱动区域前进规定行程后,后退到原来的位置,负责下个输送夹具30A的输送。推进器153B也同样动作。
在推进器153A、153B中,具有将输送夹具30A的第1被推动部360推动的爪部件154A、154B。爪部件154A、154B在推进器153A、153B的前进时将输送夹具30A的第1被推动部360推动。爪部件154A、154B在推进器153A、153B的后退时能够变位以便不妨碍第1被推动部360的前进。另外,输送夹具30A具有第2被推动部362,第2被推动部362在电镀槽20中的连续输送以外时使用。
5.4. 钩部
如图1~图5所示,在多个输送夹具30A的各自上,设有夹具悬挂用的钩部370、370。连续电镀处理装置10如图1所示,还具有卡合在钩部370、370上、使保持在输送夹具30A上的工件20相对于电镀槽200升降的升降部160。
为了在电镀槽200以外使工件升降,不需要使用升降轨道。驱动力较小就足够。
5.5 垂直臂部和工件保持夹具
垂直臂部330如图3及图6所示,具有例如两条垂直臂330A、330B。在该两条垂直臂330A、330B上,垂下支承着工件保持夹具500。
工件保持夹具500适合在工件20的厚度为100μm以下(包括该值)、优选的是60μm以下(包括该值)那样很薄的工件20中使用。在本实施方式中,工件20的厚度例如是40μm=0.04mm。
工件保持夹具500如图3及图6所示,具有把持矩形工件20的第一边(例如上边)20a的多个第1卡盘部件510、把持矩形工件20的与第一边在第3方向(铅直方向)C上对置的第2边20b的多个第2卡盘部件520、和包围矩形工件20而配置、支承多个第1卡盘部件510及多个第2卡盘部件520的框状部件530。
框状部件530如图9~图11所示,具有将多个第1卡盘部件510在第3方向C上可动地移动导引的导引部540、和作为将多个第1卡盘部件510向相对于多个第2卡盘部件520沿第1方向远离的一方向C1移动施力的施力部件的螺旋弹簧550。
具体而言,框状部件530如图10及图11所示,包括固定板531、和重叠配置在固定板531上的可动板532。导引部540包括形成在固定板531及可动板532的一个、例如可动板532上、以第3方向C为长度方向的长孔533、和形成在固定板531及可动板的另一个上、向长孔533插通的轴部、例如螺栓轴534。螺旋弹簧550将可动板532相对于固定板531向一方向C1推压施力。
将多个第1卡盘部件510及多个第2卡盘部件520的各自中共通的结构,举第1卡盘部件510为例,参照图10及图11进行说明。第1卡盘部件510包括接触在工件20的第l面Fl上的固定部件511、和在与固定部件511对置的位置上可相对于工件20的第2面Fr接触分离地配置、推压接触在第2面Fr上的可动部件512。可动部件512可以包括在推压解除时被驱动的被驱动片512A、在被驱动片512A的非驱动时经由铰链513被弹簧压力总是向固定部件侧推压的推压驱动片512B、和形成在推压驱动片512B的自由端部上的薄板状的推压片512C。
在将工件20向工件保持夹具500安装时,首先将工件20的第2边20b用多个第2卡盘部件520把持。接着,为了将工件20的第1边20a用第2卡盘部件510把持,最初将可动板532克服螺旋弹簧550的作用力而推下,设定为图10的状态。此时,驱动第1卡盘部件510的被驱动片512A,如图10所示那样将推压驱动片512B设定为开放状态。接着,通过将被驱动片512A的驱动解除,将工件20的第1边20a用第1卡盘部件510把持。最后,将向可动板532的推下力解除。由此,可动板532在螺旋弹簧550的作用力下上升,能够对工件20施加张紧而维持工件20的平面性。
另外,向工件20的张紧施加可以由第1卡盘部件510及第2卡盘部件的至少一个进行。即,也可以在第2卡盘部件520中采用上述张紧施加构造。
另外,上述构造的工件保持夹具500也可以作为将多个工件保持夹具500同时浸渍到处理液中的分批处理用使用。在此情况下,第1、第2卡盘部件510、520并不限于上下配置,也可以配置在左右的侧边上。
5.6. 图3的通电部及工件保持部
如上所述,工件保持夹具30A的通电部330如图3所示,具有导电性的水平臂部300、导电性的支承板331、和导电性的垂直臂部330A、330B(330)。进而,在这两条垂直臂330A、330B上,垂下支承工件保持部500。
工件保持部500如图3所示,具有把持矩形工件20的上边20a的导电性的多个第1卡盘部件510、把持矩形工件20的与上边20a在铅直方向C上对置的下边20b的导电性的多个第2卡盘部件520、和包围矩形工件20而配置、支承多个第1卡盘部件510及多个第2卡盘部件520的框状部件530。
框状部件530具有支承多个第1卡盘部件510的导电性的上框部件531、支承多个第2卡盘部件520的导电性的下框部件532、和将上框部件531的两端部与下框部件532的两端部分别连结的导电性的两个纵框部件533、534。
这样,在图3的框状部件530中,上框部件531与下框部件532通过两个纵框部件533、534电气地导通。为了从作为通电部发挥功能的两条垂直臂部332A、332B向下框部件532通电而经由上框部件531。由此,以往向下框部件532的通电路线的电阻值必然比向上框部件531的通电路线的电阻值大。因此,工件20内的电流分布越靠上边20a则电流值越高,越靠下边端20b则电流值越低,面内均匀性不好。
6. 有关工件保持夹具的工件保持部的变形例
6.1. 第1、第2卡盘部件和第1、第2通电部
图13及图14在本发明的实施方式中表示工件保持夹具30B,特别表示具有与图3的工件保持夹具30A不同的结构的工件保持部600。另外,图3的工件保持夹具30A和本实施方式的工件保持夹具30B能够共用图3所示的输送部300。图13的工件保持夹具30B的包括通电部650的工件保持部600的构造与图3的工件保持夹具30A不同。
图13所示的工件保持部600具有把持矩形工件20的上边20a的导电性的多个第1卡盘部件610、把持矩形工件20的下边20b的导电性的多个第2卡盘部件620、包围矩形工件20而配置、支承多个第1卡盘部件610及多个第2卡盘部件620的框状部件630、和包括第1通电部660及第2通电部670的通电部650。
这里,多个第1卡盘部件610与多个第2卡盘部件620电绝缘。第1通电部660向多个第1卡盘部件610通电。第2通电部670向多个第2卡盘部件620通电。
特别是,在将很薄的工件作为表面处理对象的情况下,在使工件20下降而向处理槽200投入时、或朝向图3的输送方向A将工件20在处理槽200内输送时,因液压不能保持工件20的垂下状态。
本实施方式的工件保持部600由于将工件20的上下边20a、20b夹紧,所以即使液压作用,也能够保持工件20的垂直姿势。另外,第1、第2卡盘部件610、620间的距离也可以固定,但也可以如后述那样使第2卡盘部件620在垂直方向上可动、再由施力部件向垂直下方移动施力。关于这一点在后面叙述。
本实施方式即使如工件20的厚度为100μm以下(包括该值)、优选的是60μm以下(包括该值)那样是很薄的工件20也能够防止变形。在本实施方式中,工件20的厚度例如是40μm=0.04mm。另外,图3的工件保持部500也由于具有上下的第1、第2卡盘部件510、520,所以关于能够防止工件20的变形这一点与本实施方式是同样的。
但是,在如图3的工件保持部500那样使框状部件530及第1、第2卡盘部件510、520导通的情况下,向支承着第2卡盘部件520的下框部件532的通电路线的电阻值必然比向支承着第1卡盘部件510的上框部件531的通电路线的电阻值大。这是因为,向下框部件532的通电路线一定经由向上框部件531的通电路线。此外,在如专利文献3(特开2009-132956号)的以往技术那样、通过保持夹具仅将工件的上端夹紧的情况下,通电路线仅限定于上框部件。因而,从阳极经由液体中流到工件及框状部件中的电流(或与其相反方向的电子的流动)越靠被工件保持夹具夹紧的工件的上端侧越容易流动,工件内的电流分布在工件面内变得不均匀。工件的电流分布的面内均匀性给工件的表面处理品质带来影响。
在本实施方式的工件保持部600中,多个第1卡盘部件610和多个第2卡盘部件620被电绝缘,并且向第1、第2卡盘部件610、620的通电也被分离为第1、第2通电部660、670。由此,从第1通电部660向第1卡盘部件610的通电路线、与从第2通电部670向第2卡盘部件620的通电路线能够独立地设定电阻值。由此,能够实现提高工件20的电流分布的面内均匀性、进一步提高工件20的表面处理品质的改善。
6.2. 框状部件及通电部
在本实施方式的工件保持部600中,框状部件630可以具有支承多个第1卡盘部件610的导电性的上框部件631、支承多个第2卡盘部件620的导电性的下框部件632、设在上框部件631的两端部的两个绝缘部件640A、640B、和上端部支承在两个绝缘部件640A、640B上、下端部连结在下框部件632的两端部上的导电性的两个纵框部件633、634。
在此情况下,第1通电部660经由上框部件631向第1卡盘部件610通电。第2通电部670经由两个纵框部件633、634及下框部件632向第2卡盘部件620通电。上框部件631和两个纵框部件633、634被两个绝缘部件640、640B电绝缘,所以能够独立地设定各通电路线的电阻值。
通电部650能够将作为输送部300的元件的水平臂部301(301A、301B)兼用作向上框部件631及下框部件632通电的共通通电部。第1通电部660从共通通电部301(301A、301B)经由上框部件631向第1卡盘部件610通电。第2通电部670从共通通电部301(301A、301B)经由两个纵框部件633、634及下框部件632向第2卡盘部件620通电。
工件保持夹具30A具有输送部300和通电部330,但也能够将设在输送部300侧的作为导电性部件的水平臂部301(301A、301B)兼用作共通通电部。并且,也能够将共通通电部301(301A、301B)兼用作框状部件330的支承部,能够削减零件件数。
在此情况下,第1通电部660可以具有固定在共通通电部301(301A、301B)上的绝缘部661、将绝缘部661与上框部件631连结的导电性的连结部662、和将共通通电部301(301A、301B)与连结部连接的至少一个上框通电电缆663。另一方面,第2通电部670可以具有将共通通电部301(301A、301B)与两个纵框部件633、634连接的第1及第2纵框通电电缆671A、671B。
这样,能够将设在作为工件保持夹具30B具有的两个功能部的输送部300和工件保持部600中的输送部300侧的导电性部件兼用作共通通电部301(301A、301B),并且将共通通电部301(301A、301B)兼用作框状部件630的支承部,能够削减零件件数。此外,通过第1通电部660的一部分具有将固定在共通通电部301(301A、301B)上的绝缘部661与上框部件631连结的导电性的连结部662,能够与通电功能部一起兼用作框状部件630的支承部,能够削减零件件数。并且,从共通通电部301(301A、301B)的分离通电路线可以通过一个上框通电电缆663、和第1、第2纵框通电电缆671A、671B确保。
连结部662可以包括将绝缘部661与上框部件631连结的第1垂直臂部662A及第2垂直臂部662B、比第1垂直臂部662A突出的第1突出部664A、和比第2垂直臂部662R突出的第2突出部664B。在此情况下,至少一个上框通电电缆663可以包括将作为一个共通通电部的水平臂部301A与第1突出部664A连接的第1上框通电电缆663A、和将作为另一个共通通电部的水平臂部301B与第2突出部664B连接的第2上框通电电缆663B。
这样,通过在具有连结功能的第1垂直臂部662A及第2垂直臂部662B以外设置第1、第2突出部664A、664B,能够使第1、第2突出部664A、664B作为使第1通电部660的通电路线变长的冗余部发挥功能。其理由是,作为第2通电部670的第1、第2纵框通电电缆671A、671B的一个与两个纵框部件633、634的一个成为共通通电部301与下框部件632之间的通电路线,但纵框部件632比较长,为了轻量化而需要减小截面积,电阻值比较大。为了与纵框部件632的比较大的电阻值取平衡,通过第1、第2垂直臂部662A、662B的一个和第1、第2突出部664A、664B的一个,能够对第1通电部660侧也赋予比较大的电阻值。如果能够取两者的平衡,则第1、第2上框通电电缆663A、663B和第1、第2纵框通电电缆671A、671B能够使用导电部的长度和截面积相等的相同的电缆,能够减少安装错误。
通过上述工件保持部600及通电部650的构造,能够将从共通通电部301向上框部件631流动的电流路径的电阻值与从共通通电部301向下框部件632流动的电流路径的电阻值实质上设定为相同。由此,工件20内的电流分布的面内均匀性提高,能够进一步改善表面处理品质。
6.3. 维持工件的垂直姿势的构造
如图15所示,两个绝缘部件640A、640B可以分别具有将两个纵框部件633、634的各一个上端部633A、634A在垂直方向上滑动导引的导引部642A。这样,两个纵框部件633、634、下框部件632及多个第2卡盘部件620的自重作用在被多个第1卡盘部件610支承着上端部的工件20的下端上,通过张紧的施加,能够将工件20保持为垂直状态。由此,即使表面处理槽的液压作用在工件20上,也能够防止工件20的变形。
为此,两个绝缘部件640A、640B分别具有固定在上框部件631的两端上的固定部641、和固定在固定部641上的筒体642,可以将筒体642的孔642A作为将两个纵框部件633、634的各一个上端部633A、634A在垂直方向上滑动导引的导引部。另外,固定部641和筒体642也可以一体成形。固定部641可以具有固定到上框部件631上的垂直片641A、和例如两个水平片641B、641C。筒体642可以在水平片641B的正下方固定在垂直片641A及水平片641B上。设在两个纵框部件633、634的各一个上端部633A、634A上的凸缘633B、634B设计为,能够与作为下限止动部的水平片641B抵接,但在保持着工件20的通常使用时,在凸缘633B、634B与水平片641B之间确保间隙δ。只要确保间隙δ,就如上述那样,工件20通过自重被保持为垂直状态。
如图15所示,还可以具有将被导引部642A滑动导引的纵框部件633、634向下方D移动施力的施力部件例如压缩螺旋弹簧643。这样,在被多个第1卡盘部件610支承着上端部的工件20的下端上,除了上述自重以外,还作用有施力部件643带来的作用力,通过进一步的张紧的施加,能够将工件20保持为垂直状态。
施力部件634的下端能够固定到被导引642A部滑动导引的纵框部件633、634的例如凸缘633B(634B)上。
施力部件643的上端固定到被绝缘部件640A(640B)的水平片641C支承的导电性的固定部件644上。并且,第1、第2纵框通电电缆671A(671B)可以连接到固定部件644上。
这样,第1、第2纵框通电电缆671A(671B)能够经由固定部件644、施力部件643向纵框部件633(634)通电。
这里,固定部件644如图15所示,可以由螺栓644A、螺母644R、及例如两片金属垫圈644C、644D构成。在水平片641C的上部,在螺栓644A的头与垫圈644C之间连结保持第1、第2纵框通电电缆671A(671B)。在水平片641C的正下方,在螺母644B与垫圈644D之间连结保持压缩螺旋弹簧643的上端。这样,确保第1、第2纵框通电电缆671A(671B)与施力部件643的固定和导通。
另外,第1、第2纵框通电电缆671A(671B)也可以不夹着固定部件644及施力部件643而直接连接在纵框部件633(634)上。例如,在图13中,处理液Q的液面Q1(参照图16)位于工件20的上边20a与上框部件631之间。第1、第2纵框通电电缆671A(671B)能够在比液面Q1靠上方直接连接在纵框部件633(634)上。在此情况下,图13~图15所示的施力部件(压缩螺旋弹簧)643只要配置在水平片641与凸缘633B(634B)之间就可以,也可以不形成导电路线。
7. 使工件内的电流分布的面内均匀性提高的阳极电极
图16示意地表示配置在图1所示的工件20的输送路径的两侧的阳极电极(正极)410R(410L)。该阳极电极410R(410L)通过沿着处理槽200的长度方向延伸的阳极棒400被通电。通常,阳极电极4l0R(410L)直接连接在阳极棒400上,但在本实施方式中,在阳极棒400与阳极电极410R(410L)之间夹着绝缘体430,在阳极棒400上固定着阳极电极410R(410L)。设有从阳极棒400垂下的中继通电部420。中继通电部420的下端部的触点部件420A设在比处理槽200内的处理液Q的液面Q1低的位置上。触点部件420A构成为,连接在例如阳极电极410R(410L)的垂直方向的中间位置上,向阳极电极410R(410L)通电。
所谓连接中继通电部420的阳极电极410R(410L)的垂直方向的中间位置,优选的是将由工件保持夹具30B垂下保持的工件20的纵尺寸2分的位置。在作为工件20而使用纵尺寸不同的多种的情况下,可以将中继通电部420利用周知的升降机构调整触点部件420A的上下位置。另外,触点部件420A能够在与图16的纸面垂直的方向上以规定长度与阳极电极410R(410L)接触。
在阳极电极410R(410L)中,来自触点部件420的电流当经由处理槽200内的处理液朝向作为阴极(负极)的工件20流动时,在阳极电极410L(410R)上从触点部件420A的高度位置向上方向E1和下方向E2分支而流动。这样,将相对于工件20流动的电流改善了其垂直方向上的电流分布的不均匀性。
8. 电流分布的面内均匀性的评价
图17示意地表示图13所示的工件保持夹具30B的通电路线。在图17中,第1、第2上框通电电缆663A、663B和第1、第2纵框通电电缆671A、671B使用导电部的长度和截面积相等的相同的电缆。第1通电部660中的除了第1、第2上框通电电缆663A、663B以外的通电路线(图17的Fl~F2)、和第2通电部670中的除了第1、第2纵框通电电缆671A、671B以外的通电路线(图17的F3~F4)都设定为使电阻值实质上相等。
使用具有在图17中示意地表示的特性的图13的工件保持夹具30B、和图16所示的通电方式的阳极电极410L(410R),试着计测工件20的面内的电流分布。该计测代替图1的处理槽200而使用相当于液体中的电阻的图18所示的金属线700,如图19所示那样将设在工件20及阳极电极410上的36处的触点P彼此用金属线700连接。此外,将内置整流器的电源430的正端子经由中继通电部420连接在阳极电极410的纵向的中间位置上,将负端子连接在图13所示的工件保持夹具30B的共通通电部301A、301B上。
将本实施方式的计测数据表示在图20(A)中。另一方面,将使用图3所示的工件保持夹具30A、和图16所示的从阳极棒400向阳极电极410直接供电的结构组合的比较例计测的数据表示在图20(B)中。如由图20(A)、图20(B)的比较清楚的那样,可知通过将本实施方式的工件保持夹具30B与图16所示的向阳极电极410的通电方式组合,工件20的面内的电流分布的面内均匀性显著地提高。特别是,在表示比较例的图20(B)中越靠工件20的上端则电流值越大,但在表示本实施方式的图20(A)中,工件20的垂直方向上的电流分布的不均匀显著地变少。
另外,如上述那样对本实施方式详细地进行了说明,但对于本领域的技术人员而言应该能够容易理解能够进行实际上不从本发明的新事项及效果脱离的许多变形。因而,这样的变形例都包含在本发明的范围中。例如,在说明书或附图中,至少一次与更广义或同义的不同的用语一起记载的用语在说明书或图面的任何部位都能够替换为该不同的用语。此外,本实施方式及变形例的全部的组合也包含在本发明的范围中。
例如,并不限定为一定使用工件保持夹具30B的共通通电部301的情况,也可以将从被通电部340到第1卡盘部件610及第2卡盘部件620的通电路径分离。在此情况下,也可以在两个通电路线上分别连接独立的电源。
附图标记说明
10 表面处理装置(连续电镀处理装置),20 工件,30A、30B 输送夹具,100 循环输送路径,110 第1直线输送路径,120 第2直线输送路径,130 第1导轨,140 第2导轨,141 上表面,150 连续输送驱动部,160 升降部,200 表面处理槽(电镀槽),200A 电镀槽单元,201上端开口,210 供电轨道,210A~210D 分割供电轨道,300 水平臂部,300A、300B 第l、第2水平臂,310 第1被导引部,311 第1辊,312 第2辊,313 第3辊,320 第2被导引部,321 第4辊,330 垂直臂部,330A、330B 第1、第2垂直臂,331 支承部,332 保持部,340 被供电部,341 接触部,342 平行连杆机构,343 施力部件,350 支承部(支承板),360 被推动部,370钩部,400A~400D 电源,410L、410R 阳极,500 工件保持夹具,510 第1卡盘部件,520 第2卡盘部件,530 框状部件,531 固定板,532 可动板,533 长孔,534 轴部,540 导引部,600工件保持部,610 第1卡盘部件,620 第2卡盘部件,630 框状部件,631 上框部件,632 下框部件,633、634 纵框部件,640A、640B 绝缘部件,642A 导引部,643 施力部件,644 固定部件,650 通电部,660 第1通电部,661、662 连结部,662A、662B 第1、第2垂直臂部,663、663A、663B 上框通电电缆(第1、第2上框通电电缆),664A、664B 第1、第2突出部,670 第2通电部,671A、671B 第1、第2纵框通电电缆,A 第1方向(输送方向),B 第2方向,C 铅直方向,Q处理液(电镀液),Q1 液面。