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1. (WO2002019441) ACTIONNEUR PIEZO-ELECTRIQUE ET SON PROCEDE DE PRODUCTION

Pub. No.:    WO/2002/019441    International Application No.:    PCT/DE2001/002520
Publication Date: Fri Mar 08 00:59:59 CET 2002 International Filing Date: Sat Jul 07 01:59:59 CEST 2001
IPC: H01L 41/053
H01L 41/083
H01L 41/09
H01L 41/273
H01L 41/335
H02N 2/04
Applicants: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
LUBITZ, Karl
SCHUH, Carsten
Inventors: LUBITZ, Karl
SCHUH, Carsten
Title: ACTIONNEUR PIEZO-ELECTRIQUE ET SON PROCEDE DE PRODUCTION
Abstract:
L'invention concerne un actionneur piézo-électrique (1) qui comprend un corps piézo-électrique (4) et des moyens servant à précontraindre le corps piézo-électrique et comprenant un premier (2) et un deuxième (3) élément de raccordement pour la transmission de forces au corps piézo-électrique (4). Un élément (6) servant à la transmission de forces de traction/pression entre les éléments de raccordement (2, 3) est placé au moins partiellement dans une cavité en forme de trou (5) dans le corps piézo-électrique (4). Selon l'invention, l'actionneur piézo-électrique (1) est réglé à une courbe de travail définie par l'intermédiaire des moyens (2, 3, 6) de précontrainte. Le corps piézo-électrique (4) est produit de préférence par laminage de couches piézo-électriques dans lesquelles une cavité est alésée après le laminage, un frittage de l'élément ayant lieu après l'alésage.