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1. WO2016100393 - SOURCE DE LUMIÈRE À BASE DE PLASMA

US20160249442Plasma-based light source
Appl.Date 28.08.2015
N° de demande 14838594 Déposant KLA-Tencor Corporation Related Type IC5
Priorité unique au sein de la famille.
Type de publication A1,B2
Date de publication 25.08.2016
KR1020170094382플라즈마 기반의 광원
Appl.Date 15.12.2015
N° de demande 1020177019222 Déposant 케이엘에이-텐코 코포레이션 Related Type IC2
Ouverture de la phase nationale d'une demande PCT.

Si cette demande n'est pas visible dans l'onglet Phase nationale de la demande PCT, sa relation avec la demande PCT est identifiée à l'aide des informations de ses données bibliographiques, relatives au dépôt ou à la publication PCT ou régional(e).

Type de publication A
Date de publication 17.08.2017
JP2018500601プラズマベース光源
Appl.Date 15.12.2015
N° de demande 2017531828 Déposant ケーエルエー コーポレイション Related Type IC2
Ouverture de la phase nationale d'une demande PCT.

Si cette demande n'est pas visible dans l'onglet Phase nationale de la demande PCT, sa relation avec la demande PCT est identifiée à l'aide des informations de ses données bibliographiques, relatives au dépôt ou à la publication PCT ou régional(e).

Type de publication A Langue de publication ja
Date de publication 11.01.2018
WO/2016/100393PLASMA-BASED LIGHT SOURCE
Appl.Date 15.12.2015
N° de demande PCT/US2015/065896 Déposant KLA-TENCOR CORPORATION Related Type IC1
Demande PCT à l'origine de la famille.
Type de publication A Langue de publication en
Date de publication 23.06.2016