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1. WO2020163428 - ALIMENTATION EN GAZ À INJECTEURS INCLINÉS DANS UN APPAREIL DE TRAITEMENT AU PLASMA

US20200258718Gas Supply With Angled Injectors In Plasma Processing Apparatus
Appl.Date 07.02.2019
N° de demande 16270063 Déposant Beijing E-Town Semiconductor Technology, Co., LTD Type de publication A1
Inclusion Criteria IC5
Priorité unique au sein de la famille.
Date de publication 13.08.2020
WO/2020/163428GAS SUPPLY WITH ANGLED INJECTORS IN PLASMA PROCESSING APPARATUS
Appl.Date 05.02.2020
N° de demande PCT/US2020/016717 Déposant BEIJING E-TOWN SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY CO., LTD. Type de publication A Langue de publication en
Inclusion Criteria IC1
Demande PCT à l'origine de la famille.
Date de publication 13.08.2020
CN112437969Gas Supply With Angled Injectors In Plasma Processing Apparatus
Appl.Date 05.02.2020
N° de demande 202080003859.1 Déposant BEIJING E-TOWN SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY, CO., LTD. Type de publication A
Inclusion Criteria IC2
Ouverture de la phase nationale d'une demande PCT.

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Date de publication 02.03.2021
KR1020210112412플라즈마 처리 장치 내의 각을 이룬 인젝터를 갖는 가스 공급부
Appl.Date 05.02.2020
N° de demande 1020217028355 Déposant 매슨 테크놀로지 인크 Type de publication A
Inclusion Criteria IC2
Ouverture de la phase nationale d'une demande PCT.

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Date de publication 14.09.2021